专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
一种真空镀膜生产线用监控系统 CN201310688474.5 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用监控系统，用于监控镀膜生产系设备的工作状态，该系统包括显示模块、处理模块、数据存储模块、通讯接口模块、数据转换模块、以及分布在生产线上的各监控部件。本发明通过数据抓换模块和现场总线，实现对生产线上不同设备的数据读写功能；且通过多模块多部件的设计以及之间的相互连接；搭建了监控系统的整体框架，既实现了设备的统一管理，又丰富了生产线的功能，实现了对生产线的智能化监控。因此，本发明具有广阔的市场前景。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线 CN201310690992.0 2016-02-03 本发明公开了一种真空镀膜生产线，其包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比，传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源，因此其应用前景十分广阔。 专利权的授权
一种真空镀膜生产线用阴极装置 CN201310688492.3 2016-03-09 本发明公开了一种真空镀膜生产线用阴极装置，包括阴极组件和平移组件，所述阴极组件与平移组件固定连接且随所述平移组件的运动平动，其中所述阴极组件中的阴极为平面磁控溅射阴极。与现有技术相比，本发明提供的阴极装置不仅可维持平面阴极的低成本易维护的优点，亦实现了旋转阴极的靶材和轰击轨道可变这一优点，且实现平动的附加部件结构简单，不会影响真空密封性，同样也不会成为生产线中的不确定因素；因此，该阴极装置具有极大的经济价值，且环境友好，减少了靶材的浪费，故而其应用前景十分广阔。 专利权的授权
一种立式真空溅射镀膜生产线 CN201310690991.6 2016-03-09 本发明公开了一种立式真空溅射镀膜生产线，其包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比，传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源，因此其应用前景十分广阔。 专利权的授权
一种真空镀膜生产线用传动机构 CN201310688579.0 2018-02-06 本发明公开了一种真空镀膜生产线用传动机构，其包括一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器将主动组件的运动传递给从动组件。与现有技术相比，该传动机构采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴，主动轴和从动轴之间无直接接触，无机械传动，减少磨损，将动密封转换为静密封，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性，有效防止出现漏气现象产生，该传动机构结构简单，能耗减少，节约资源，使用方便，使用寿命延长，安全性提高因此其应用前景十分广阔。 专利权的授权
一种真空镀膜生产线用旋转平台机构 CN201310688577.1 2018-02-06 本发明公开了一种真空镀膜生产线用旋转平台机构，包括：一驱动组件、一与驱动组件连接的旋转组件和一固定在旋转组件上的限位组件，驱动组件驱动旋转组件上的旋转盘转动，限位组件的旋转光电感应器、感应棒和感应信号元件固定在旋转组件上，限位组件控制旋转盘的运动。与现有技术相比，该真空镀膜生产线用旋转平台机构尤其适用于真空镀膜生产线中连接基片传送流水线与镀膜流水线，使基片传送流水线上的基片安全可靠的调转方向180度进入镀膜流水线，防止基片出现重心不稳现象，节约人力物力，减少占地面积，安全可靠迅速，因此其应用前景十分广阔。 专利权的授权
一种真空镀膜生产线用旋转平台机构 CN201711349844.7 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用旋转平台机构，包括：一驱动组件、一与驱动组件连接的旋转组件和一固定在旋转组件上的限位组件，驱动组件驱动旋转组件上的旋转盘转动，限位组件的旋转光电感应器、感应棒和感应信号元件固定在旋转组件上，限位组件控制旋转盘的运动。与现有技术相比，该真空镀膜生产线用旋转平台机构尤其适用于真空镀膜生产线中连接基片传送流水线与镀膜流水线，使基片传送流水线上的基片安全可靠的调转方向180度进入镀膜流水线，防止基片出现重心不稳现象，节约人力物力，减少占地面积，安全可靠迅速，因此其应用前景十分广阔。 专利申请的驳回
一种真空镀膜生产线用传动机构 CN201711353380.7 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用传动机构，其包括一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器将主动组件的运动传递给从动组件。与现有技术相比，该传动机构采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴，主动轴和从动轴之间无直接接触，无机械传动，减少磨损，将动密封转换为静密封，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性，有效防止出现漏气现象产生，该传动机构结构简单，能耗减少，节约资源，使用方便，使用寿命延长，安全性提高因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种用于手机盖板保护屏连续镀膜生产线 CN201610072203.0 2018-12-21 本发明公开了一种用于手机盖板保护屏连续镀膜生产线，其包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比，传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源，因此其应用前景十分广阔。 专利权的授权
大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置及调整方法 CN201310039255.4 2014-10-15 本发明提供了一种大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置及调整方法，本发明的大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置包括安装架和多块修正小滑块；所述多块修正小滑块并行排列，并且垂直安装在矩形安装架的至少一边内框上，每个修正小滑块均可相对于安装架滑动；修正小滑块的伸出端边缘在矩形安装架内框区域形成调整曲线，所述的安装架和修正小滑块均采用不导磁材料。本发明结构简单，维修操作方便，且提高了一定等离子刻蚀速率上的有效沉积速率；本发明还建立了调整区域与有效沉积区域的一一对应关系，提高了镀膜膜层的厚度均匀性。 专利权的授权