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一种真空镀膜生产线用旋转门阀 CN201310689853.6 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用旋转门阀,包括:一门阀组件和一驱动组件,驱动组件与门阀组件一端连接,门阀组件包括一门阀、一旋转轴和至少一个门阀连接件,门阀连接件连接门阀和旋转轴;驱动组件包括一气缸和一驱动器,驱动器连接气缸和旋转轴,驱动器进一步包括一第一驱动轴、一第二驱动轴和一驱动轴套,第一驱动轴与气缸连接,第二驱动轴与旋转轴连接,第一驱动轴和第二驱动轴安装在驱动轴套内。与现有技术相比,该旋转门阀安装在镀膜流水线的进口和出口,通过气缸驱动,节约人力物力,动作灵敏,使门阀旋转0~95度,确保基片快速进出镀膜流水线的进口和出口,提高整个真空镀膜生产线的工作效率,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用运输系统 CN201310688767.3 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用运输系统,包括一传送装置和一安装在传送装置上的装片装置,传送装置包括轨道和至少一个传送车,轨道带电,传送车包括至少两个电极引入件,电极引入件与轨道电连接驱动传送车在轨道上运行。与现有技术相比,采用传送装置和装片装置配合来传送基片,基片安全稳固安装,通过传送车高效快速传送,传送车从轨道上引电来驱动在轨道上稳定移动,装片装置结构简单,通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装,这样整个运输系统适用于多种镀膜生产线,节约资源,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用基片识别装置 CN201310688491.9 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用基片识别装置,安装在基片架和传送机构上,包括:至少2n个识别孔和一识别器,识别孔设置在基片架上,识别器安装在传送机构上,识别器进一步包括一红外线发射单元、一红外线接收单元和一转换单元,转换单元与红外线接收单元连接,红外线发射单元与识别孔的高度一致。与现有技术相比,该基片识别装置的识别孔和识别器分别安装在基片架和传送机构上,识别器上的红外线发射单元发射红外线穿过识别孔,通过红外线接收单元接收红外线量确定识别孔中开放识别孔和封闭识别孔的数量和位置关系,从而确定基片型号;该基片识别装置结构简单,不受电磁影响,连续快速识别基片,不影响镀膜生产工艺,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用基片运输装置 CN201310688766.9 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用基片运输装置,其包括:一传送系统和一装片系统,装片系统安装在传送系统上,传送系统包括传送系统包括轨道和至少一个传送车,传送车在轨道上运行;一装片系统,装片系统安装在传送系统的车架上,装片系统包括一固定组件和一调节组件,调节组件安装在固定组件上,通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。与现有技术相比,该基片运输装置采用传送系统与装片系统配合来传送基片,基片安全稳固安装,通过传送车高效快速传送,装片系统结构简单,通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装,延长整个基片运输装置的使用寿命,节约资源,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用密合机构 CN201310692198.X - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用密合机构,包括铰链件和紧锁件,所述铰链件连接真空镀膜生产线中各功能腔室的室门与门框,所述室门经铰链件开合,紧锁件安装在门框上。与现有技术相比,本发明中密合机构采用双轴承设计能保证门铰链的灵活转动,使门铰链不易损坏;在配合门紧锁装置一并使用时,双轴的设计能推动门体和门框整体像腔室内部平移,使得门体与门框之间不会产生大范围的间隙,从而门体能更为紧密的与门框贴合,真空腔室的密封效果也更佳,因此,本发明具有广阔的市场前景。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用门体结构 CN201310690929.7 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用门体结构,该门体机构用于镀膜生产线的各腔室的门,各门体机构尺寸一致,门体左右两侧均能自由开合;室门与门框间通过多组密封组件可拆卸连接,密封组件包括铰链装置和紧锁件。与现有技术相比,本发明中真空镀膜生产线的各腔室门体均采用尺寸一致的门体机构,使得各腔室门体依据镀膜区域工艺可进行随时调整,随时根据两面膜层的结构设计来更换靶门布局适应镀膜要求,使生产线能随时进行升级改进,顺应膜层的发展更新换代,节约生产线成本;门体机构均为活动可拆卸,室门与门框间通过可拆卸的采用双轴结构的密封组件固定,提高镀膜腔室的密封效果,满足镀膜工艺的真空度要求,因此本发明具有广阔的应用前景。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用管道耦合装置 CN201310690250.8 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用管道耦合装置,包括上耦合件和下耦合件,上下耦合件活动连接并密封,上下耦合件分别固定连接同一管道;上下耦合件耦合密封时,管道连通;上下耦合件分离时,管道断开。通过气缸推动耦合法兰上下移动,使得耦合法兰与上固定法兰自动耦合或脱离,以此带动金属波纹管道自动开合;脱离后的管道能自由水平移动,在移动时并能与管道所在平面保持相对静止,避免了管道的刮损;在开合处的管道口设置有过滤网,能避免杂物滑落堵塞通道,因此,本发明具有广阔的市场应用前景。 专利申请的驳回
一种真空镀膜生产线用的可调式装片装置 CN201310688578.6 - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用的可调式装片装置,包括:一固定组件和一调节组件,调节组件安装在固定组件上,通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。与现有技术相比,该装片装置稳固安装基片,操作方便,依据基片的大小,灵活变化安装的宽度与高度,适用于安装各种不同规格的基片,装置的横截面积小,在真空镀膜生产线中占用镀膜腔室空间小,结构简单,用材少,节约资源,便于大规模生产,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种真空镀膜生产线用的运输车 CN201310690930.X - 本发明公开了一种真空镀膜生产线用的运输车,包括一传送装置和一装片装置,装片装置安装在传送装置上,装片装置在传送装置上自动移动,通过传送装置的移动带动装片装置的传送。与现有技术相比,本发明提供的一种真空镀膜生产线用的运输车,采用传送装置与装片装置配合来传送基片,基片安全稳固安装,通过传送装置在轨道上高效快速传送,装片装置结构简单,通过调节调节梁适用于多种不同规格的基片安装,延长整个运输车的使用寿命,节约资源,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回
一种用于真空镀膜生产线的调温装置 CN201310690927.8 - 本发明公开了一种用于真空镀膜生产线的调温装置,包括一固定组件和一调温组件,调温组件安装在固定组件上,固定组件包括一固定板和至少两个定位座,定位座固定在固定板上;调温组件包括一加热器、一冷却器和一控制器,加热器和冷却器与控制器连接,加热器和冷却器安装在固定组件的定位座上。与现有技术相比,该用于真空镀膜生产线的调温装置设置在镀膜生产线的加热腔和冷却腔内,对真空镀膜生产线中的基片进行加热或冷却,利于基片镀膜,设有加热组件和冷却组件,通过控制器合适选择加热或冷却,加热和冷却互不影响,当镀膜流水线中各腔室的位置依据生产需要调换时,基片的加热腔和冷却腔不需要调换,节约人力物力,因此其应用前景十分广阔。 专利申请的撤回