专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
一种用于MOCVD与MBE样品交互的真空互联系统及方法 CN202410262284.5 - 用于MOCVD与MBE样品交互的真空互联系统，包括依次对接的MOCVD生长室、MOCVD过渡室、翻转室、MBE过渡室和MBE生长室，相邻腔室之间通过隔离阀相互隔离，MOCVD过渡室设有MOCVD过渡室机械手，翻转室内设有转移盘、过滤盘、可升降和旋转的中转部件、第一升降组件以及第二升降组件，转移盘上设有多个晶圆载具位，过滤盘上设有多个晶圆过滤通孔，晶圆过滤通孔的直径大于晶圆的直径且小于晶圆载具的直径，过滤盘上表面和下表面分别设有放置部，翻转室一侧对接有机械手箱，机械手箱内设有翻转机械手，MBE过渡室设有MBE过渡室机械手。本发明无需接触晶圆生长面，降低了晶圆表面损伤和接触污染的风险，无需夹持晶圆周缘区域，降低了挤压应力造成的碎片风险。 实质审查
一种加热丝缠绕工装及缠绕方法 CN202311555981.1 - 本发明公开了一种加热丝缠绕工装及缠绕方法，工装包括：调节螺杆、第一固定盘、第二固定盘和缠绕柱；第一固定盘和第二固定盘分别通过可拆卸的方式固定在调节螺杆的两端，且第一固定盘与第二固定盘在调节螺杆上的间距可调节；第一固定盘和第二固定盘的周面均间隔环布有多个可拆卸的缠绕柱，缠绕柱用于缠绕加热丝。本发明具有结构紧凑、操作便捷、缠绕规格可调节、缠绕转角半径可改变且成本低廉等优点，克服了现有技术中存在的绕制规格单一、耗时长、转角不规整、成本高等不足，提高了加热丝的缠绕质量，实现了温度场均匀分布，满足了MBE设备的温度稳定性要求。 实质审查
一种用于分子束外延设备的传样系统及传样方法 CN202311434158.5 - 本发明公开一种用于分子束外延设备的传样系统及传样方法，系统包括：处理室、环形传输腔、连接组件、环形驱动组件和升降驱动组件；晶圆在处理室内进行工艺处理，多个处理室沿竖直方向均布在环形传输腔上方，连接组件用于连接处理室与环形传输腔；环形驱动组件位于环形传输腔侧部，以实现晶圆沿环形传输腔运动；升降驱动组件位于环形传输腔底部，环形驱动组件与升降驱动组件之间设有隔离屏，升降驱动组件与处理室相对应，以实现晶圆沿竖直方向进出处理室。本发明具有结构紧凑、操作简单、传样精度高、自动化程度高、占地面积小等优点，解决了因水平磁力杆传样时端部弯曲变形大而引起的传样不精确及齿轮齿条传动易卡死等问题，实现晶圆高质量传输。 实质审查
基于分子束外延的氧化镓器件结构的制造方法和应用 CN202311019532.5 - 本发明公开了一种基于分子束外延的氧化镓器件结构的制造方法，包括以下步骤：采用分子束外延、电子束直写、电荷耦合刻蚀、金属磁控溅射及电子束蒸发法制备，先在未掺杂的Ga2O3衬底上采用分子束外延依次制备基底掺杂层、本征缓冲层和轻掺杂外延层形成分子束外延模板，采用电子束蒸镀法沉积Ni/Pt金属势垒层，采用电感耦合等离子体刻蚀法形成深沟槽后沉积HfO2介质层，在HfO2介质层上面依次溅射沉积TiW金属缓冲层、Pt/Au金属引线层；最后将基片进行背面减薄去应力，最终在背面沉积Ti/Ni/Au漏极。本发明制得的器件具有外延层品质好、沟槽栅极区域线框一致性好、击穿电压高等优点。 实质审查
一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备 CN202110683800.8 - 本发明公开了一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备，包括腔室，源炉，第一快门和第二快门；源炉的炉口朝向腔室内设置，第一快门和第二快门向腔室内延伸，且第一快门和第二快门至少部分露出于腔室外壁；通过在腔室外操作第一快门，可将第一快门调整至完全遮挡源炉的蒸发路径的第一位置或者完全离开蒸发路径的第二位置；通过在腔室外操作第二快门，可将第二快门调整至覆盖源炉3炉口正上方的第三位置或者靠近源炉3炉口加热器的第四位置。根据本公开的双快门源炉系统能够保护源炉内的源料不受材料碎片污染、优化外延薄膜质量、同时有效提升蒸发束流的稳定性和重复性。 专利申请的驳回
一种三状态分子束外延用束源炉快门 CN202011453051.1 2022-02-18 本发明公开了一种三状态分子束外延用束源炉快门，在具备束流开启与束流关断两种状态的基础上，新增第三种束源炉保护状态，处于束源炉保护状态的快门可以有效阻挡冷屏内壁上吸附的材料碎片掉落入束源炉中，具有可以保护束源炉内源料不受材料碎片污染、优化外延薄膜质量、同时有效提升蒸发束流的稳定性和重复性、降低设备维护时间、提高设备生产效率等优点。 专利权的授权
一种分子束外延源料冷却方法 CN202011311954.6 2021-08-27 本发明公开了一种分子束外延源料冷却方法，包括步骤：分子束外延工艺结束后，坩埚托架带动坩埚缓慢下降移出高温区间，使坩埚中的源料自下而上逐渐凝固，直至坩埚中的源料全部凝固。本发明具有操作简便，可在普通热蒸发源的基础上实现大容量、大束流、高可靠性的源料蒸发与冷却等优点。 专利权的授权
一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉 CN202011315020.X 2021-09-03 本发明公开了一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉，包括坩埚托架、安装法兰、设于安装法兰上侧的热屏蔽筒、设于安装法兰下侧的闸阀、设于闸阀下侧的外筒、以及用于带动坩埚托架在热屏蔽筒和外筒之间移动的升降驱动机构，所述热屏蔽筒内设有加热器，所述外筒连接有真空泵，所述升降驱动机构与所述外筒密封连接。本发明具有结构简单、成本低、可靠性高、占用空间少等优点。 专利权的授权
一种分子束外延源料原位预处理方法 CN202011311933.4 2022-08-26 本发明公开了一种分子束外延源料原位预处理方法，包括步骤：S1、坩埚下降至外筒内，关闭闸阀，外筒充气至大气压后卸下外筒，取下坩埚，将源料装入坩埚并盖上坩埚盖，将坩埚放回至坩埚托架上，将外筒重新连接至闸阀，外筒抽气至合适真空度后，打开闸阀，坩埚移动至工艺位置；S2、加热器对坩埚下部进行加热；S3、加热器对坩埚上部进行加热；S4、坩埚下降至外筒内，关闭闸阀，外筒充气至大气压后卸下外筒，取下坩埚盖，将外筒重新连接至闸阀，外筒抽气至合适真空度后，打开闸阀，坩埚移动至工艺位置。本发明具有操作简便、效率高，预处理后的料锭质地紧密，与坩埚形状相同，可显著提高蒸发束流的稳定性等优点。 专利权的授权
一种风电叶片螺栓套缠丝装置及方法 CN202310889636.5 - 本发明涉及一种风电叶片螺栓套缠丝装置及方法，风电叶片螺栓套缠丝装置包括工作台以及设置在所述工作台上的升降支撑组件、顶紧组件、平移送丝组件、打结组件和裁丝组件。风电叶片螺栓套缠丝方法通过上述装置进行，升降支撑组件将风电叶片螺栓套输送至预定位置，然后利用顶紧机构将其顶紧，通过平移送丝组件将玻璃纤维丝均匀绕到螺栓套表面，自动完成表面缠丝，打结组件和裁丝组件对玻璃纤维丝进行打结和裁剪。本发明的设备缠丝质量稳定，生产效率高，检测精准，工艺参数调整方便，从而实现了风电行业螺栓套缠丝自动化、智能化作业，解决了现有风电叶片螺栓套表面缠丝过程中安全风险大、人工操作效率低、产品质量不稳定，生产成本高的问题。 实质审查