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一种耐辐照传感器芯体及其制备方法与应用 CN202410079825.0 2024-04-05 本发明公开了一种耐辐照传感器芯体及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域，该制备方法包括以下步骤：将不锈钢弹性体抛光后渗氮、回火、沉积和光刻；渗氮后渗氮层的厚度为0.02mm~0.04mm；沉积分为下表面沉积和上表面沉积；下表面沉积为依次沉积氧化铌层和金层；上表面沉积为依次沉积绝缘层、敏感层、焊盘层和保护层。本发明通过对不锈钢弹性体进行渗氮处理，从而提升不锈钢弹性体的硬度；同时还能降低迟滞误差；本发明通过沉积金层，从而进一步降低核辐照敏感性。 专利权的授权
一种芯体用不锈钢、压力变送器及其应用 CN202311505878.6 - 本发明公开了一种芯体用不锈钢、压力变送器及其应用，涉及纳米薄膜技术领域，该不锈钢为17‑4PH不锈钢经过固溶处理和时效处理后得到；固溶处理的温度为1000℃～1100℃；固溶处理的时间为2h～4h；时效处理的温度为550℃～750℃。本发明的压力应变器基于纳米薄膜且引压口小（G1/4）、引压嘴为齐平膜形态，在如含颗粒物较大及杂质较多的流体压力测量中，本可以有效解决应压通道堵塞，不易清洗，在低温环境下压力通道结冰而无法引压的难题。 实质审查
纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器 CN202311383754.5 - 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式单膜片压力变送器，包括高压腔体、弹性膜片、低压腔体、条形桥臂以及连接环，条形桥臂上镀有纳米薄膜层且在纳米薄膜层上光刻有敏感电阻和光刻电路，敏感电阻和光刻电路组成惠斯通全桥式电路，采用纳米镀膜及光刻敏感电阻技术，以及单弹性膜片加桥臂测量差压的这种结构可以使精度达到0.05％FS，最高使用温度可达400℃，量程从5kPa‑250MPa均可实现，具有广泛的应用前景。 实质审查
一种纳米薄膜电阻应变式双膜片差压传感器及变送器 CN202311383755.X - 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式双膜片差压传感器及变送器，属于传感器技术领域，包括高压感应室、低压感应室以及连接环。高压感应室的内部形成高压腔，高压感应室的一端设置有高压弹性膜片，高压弹性膜片远离高压腔的一侧设置有桥臂。低压感应室的内部形成低压腔，低压腔的一端设置有低压弹性膜片。高压弹性膜片、低压弹性膜片以及连接环之间形成密闭的腔体并填充有传导液。采用高压弹性膜片和低压弹性膜片的双弹性膜片加桥臂的结构，内部通过传导液传导低压侧的压力，由此测量压差，并能够对两侧压差起到放大作用，提高感应精度。镀膜桥臂芯体与被测流体隔离，便于封装，更利于测带腐蚀性的流体。 实质审查
一种纳米薄膜电阻应变式介质隔离差压传感器及变送器 CN202311383753.0 - 本发明公开了一种纳米薄膜电阻应变式介质隔离差压传感器及变送器，属于传感器技术领域，包括高压感应室、低压感应室以及连接环。高压感应室的一端设置有弹性膜片且另一端设置有高压侧隔离膜片，高压感应室的内部形成第一油腔并填充有硅油，弹性膜片上设置有桥臂。低压感应室的一端设置有低压侧隔离膜片。弹性膜片、低压感应室以及低压侧隔离膜片之间形成第二油腔并填充有硅油。传感器内部的镀膜桥臂芯体和弹性膜片被两侧的第一油腔和第二油腔内的硅油所包覆，使得桥臂及弹性膜片均与被测流体隔离，能较好地保护桥臂和弹性膜片，便于封装，更利于检测带腐蚀性的流体。 实质审查
一种压力传感器芯体及其应用 CN202311383797.3 - 本发明公开了一种压力传感器芯体及其应用，涉及传感器技术领域；该压力传感器芯体，包括：桥臂；桥臂的一侧设置有若干桥墩和若干桥洞；桥洞的截面为类梯形；类梯形的底角为30°～80°；桥臂的另一侧还设置有光刻电路和若干应变电阻；若干应变电阻形成惠斯通电桥；敏感电阻与桥洞对应设置。本发明的压力传感器包括弹膜腔体和桥臂结构，弹膜腔体与流体接触后，将流体压力转化为弹性膜片的微小弹性变形；而桥臂将弹性膜片的微小变形进行集中应力放大，从而实现1MPa以下小量程压力的测试。 实质审查
高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器 CN202311383758.3 2024-05-31 本发明公开了一种高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器，连接环的一侧安装有高压腔体，连接环的另一侧安装有低压腔体，高压腔体位于连接环内侧的一端端面上设有弹性膜片，弹性膜片位于连接环内侧的一侧面上安装有桥臂，桥臂靠近低压腔体的一侧设有镀膜平面，镀膜平面上设有多层纳米薄膜，高压腔体内靠近弹性膜片的一侧设有高压侧保护块，低压腔体内靠近桥臂的一侧设有低压侧保护块，低压腔体的外周开设有传感器安装位，通过多层纳米薄膜感应桥臂的变形而产生电信号，多层纳米薄膜快速地将电信号输出，根据电信号并计算得出压差，极大地提高测量量程范围，实现从5kPa到250MPa全域覆盖。 专利权的授权
一种纳米薄膜压力温度复合型变送器 CN202311293668.5 - 一种纳米薄膜温压复合芯体，其特征在于，包括：钢杯、通压接液口、绝缘层、压敏层、温敏层、焊盘层、保护层；所述钢杯的内部轴向设置有所述通压接液口，用于传输被测介质；所述钢杯的顶部表面设置有所述绝缘层，所述绝缘层的表面内圈覆盖设置有所述压敏层；所述绝缘层的表面次外圈覆盖设置有所述温敏层，所述绝缘层的表面最外圈覆盖设置有所述焊盘层；所述保护层为最上层；纳米薄膜温压复合芯体所受的力通过惠斯通全桥的阻值变化输出相对应的微弱电信号，介质所带的温度将通过钢杯芯体传导至温敏电阻上产生电阻变化，从而输出相对应的温度和压力的电信号。 实质审查
一种具有高绝缘强度的钢基纳米薄膜压力芯体及其制备方法 CN202311232337.0 - 本申请提出了一种具有高绝缘强度的钢基纳米薄膜压力芯体及其制备方法，涉及一种具有高绝缘强度的钢基纳米薄膜压力芯体及其制备方法领域。该钢基纳米薄膜压力芯体包括钢基，钢基上设置有应变梁，应变梁上镀有绝缘层、压敏层、Au球焊层和抗氧化保护层；钢基和应变梁之间还设置有粘合层。本申请于传统压力芯体的基础上，在钢基与绝缘层之间新增应变梁，应变梁与钢基的连接采用胶水胶粘或者玻璃熔融熔接；并且将惠斯通电桥光刻至应变梁上，实现压力电信号的转变。本申请通过新增应变梁绝缘层结构，不影响芯体的精度，但可以使得芯体绝缘强度最少可以达到900V，满足轨道交通、变电站等一些特殊高压场合的需要。 实质审查
一种应变敏感电阻图形制作方法、设备及存储介质 CN202311063318.X 2023-11-07 本发明提出了一种应变敏感电阻图形制作方法、设备及存储介质，涉及传感器技术领域。该方法步骤包括：获取液态状的应变电阻靶材，并将其装入设置在三坐标移动设备上点胶机内；应变电阻靶材材料包括金属微滴和硅胶，硅胶与金属微滴的质量比为3：2，金属微滴按质量百分数计包括47%Ni、47%Cr、3.5%ZrO2、1.6%Pt、0.2%W和0.7%Si；获取打印面以及打印面上的指定打印区域的信息；根据打印面、指定打印区域信息和预设电阻图形样式生成相应的运行制作指令；三坐标移动设备根据运行制作指令控制点胶机进行电阻图形制作。其能够解决薄膜电阻不能成形在曲面上的问题，简化了工艺，降低成本，实现智能自动化打印。 专利权的授权