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一种纳米薄膜芯体及复合传感器 CN202211674431.7 2023-12-15 本发明提出了一种纳米薄膜芯体及复合传感器，涉及传感器领域。该芯体包括由法兰形的弹性梁和管状探头形成的T型芯体，且弹性梁的顶部设有纳米薄膜敏感元件。该复合传感器包括纳米薄膜芯体、前盖、后盖、电气接头、温度传感器和PCB处理板，前盖穿过管状探头与弹性梁连接，弹性梁的另一端通过后盖与电气接头连接。PCB处理板设于后盖内，并间隔位于纳米薄膜敏感元件上方，温度传感器埋入T形芯体的管状探头内。通过采用T型结构，将管状探头与测量介质接触，将受力直接传递给纳米薄膜敏感元件，避免现有技术中将敏感元件直接与测量介质接触而导致变形的问题出现。并通过温度传感器检测温度，实现压力、温度的同时测量，使用更加方便。 专利权的授权
钢基小量程纳米薄膜弹性体、制造方法及压力传感器 CN202211674450.X 2024-02-02 本发明提出了钢基小量程纳米薄膜弹性体、制造方法及压力传感器，涉及压力传感器领域。弹性体包括钢基弹性座和环形弹性梁，环形弹性梁固定于钢基弹性座的顶部；钢基弹性座的顶部设有弹性膜片，弹性膜片位于孔内一侧的中心位置设有圆形凸台；环形弹性梁包括定位圆环和M型应变梁，M型应变梁横向穿过定位圆环的圆心，且M型应变梁的中心支柱位于圆形凸台的正上方，定位圆环与M型应变梁顶部设有应变膜片，应变膜片上设有用于产生电信号的惠斯通电桥。将弹性体分为两部分分别进行加工，控制钢基弹性座和环形弹性梁膜片厚度，通过有限元分析软件对其进行受力分析，精确计算形变量及其形变位置，实现对小量程的使用，使压力传感器的应用领域更广。 专利权的授权
一种高静压纳米膜差压变送器 CN202211647987.7 - 本发明提出了一种高静压纳米膜差压变送器，涉及变送器领域。其包括调理电路板、过载保护件、变送器本体和多个引压嘴，变送器本体、过载保护件和引压嘴均为管状结构，引压嘴一端穿设于变送器本体内，引压嘴靠近变送器本体的一端设有感压薄膜，变送器本体内设有用于阻挡感压薄膜过载形变的过载保护件，感压薄膜与调理电路板电连接。其通过优化变送器结构，在变送器本体内设置用于阻挡所述感压薄膜过载形变的过载保护件，从而当感压薄膜形变超过一定量时，可以阻挡感压薄膜进一步形变，起到保护感压薄膜以及提高其耐压能力。 实质审查
一种平膜型薄膜芯体及平膜型纳米薄膜压力变送器 CN202211648531.2 2024-03-22 本发明提出了一种平膜型薄膜芯体及平膜型纳米薄膜压力变送器，涉及变送器领域。该芯体包括由接压部、顶柱部和弹性变形部构成的整体呈工字型结构的芯片主体，以及设置在弹性变形部上的惠斯通电桥电路。该变送器包括电气接头、调理电路板、管状结构的变送器本体和平膜型薄膜芯体，变送器本体与电气接头相连，调理电路板设于变送器本体内部，调理电路板的输出端与电气接头电相连，调理电路板的输入端与惠斯通电桥电路相连，弹性变形部的周界固定在变送器本体的内壁上，变送器本体远离电气接头的一端的内壁可供接压部沿其轴向滑动。其通过优化芯体及变送器的结构，使其能够适用于水泥、橡胶、粘稠介质等低流动性且可能存在较大颗粒物的物质的测量。 专利权的授权
一种差压传感器 CN202211640700.8 - 本发明提出了一种差压传感器，涉及传感器领域。包括：芯体，芯体设置有调理电路，芯体具有多组高低压应力集中孔组，任意一组高低压应力集中孔组包括两个高压应力孔和两个低压应力孔，两个高压应力孔和两个低压应力孔均镀有薄膜，薄膜具有敏感电桥；其能够实现多个传统差压传感器配合使用才能实现的功能，降低了对安装空间、安装难度的要求，同时节省成本。 实质审查
一种多量程纳米薄膜压力传感器 CN202211640714.X 2024-03-26 本发明提出了一种多量程纳米薄膜压力传感器，涉及压力传感器领域。该压力传感器包括主控芯体、薄膜电阻应变片和引压嘴；主控芯体具有基础承载板，基础承载板开设有多个应力集中孔；薄膜电阻应变片的数量为多个，多个薄膜电阻应变片一一对应设置于多个应力集中孔，薄膜电阻应变片设置有惠斯顿敏感电桥，薄膜电阻应变片连接主控芯体，惠斯顿敏感电桥上的应变电阻通过焊接引线连接主控芯体；引压嘴的数量为多个，且引压嘴的数量等于应力集中孔的数量，多个引压嘴一一对应设置于多个应力集中孔的端口，引压嘴和薄膜电阻应变片挤压配合。本发明通过在一个主控芯体上布置多个压力测量区域（薄膜电阻应变片和应力集中孔的组合），实现点位的同步测量。 专利权的授权
一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法与应用 CN202211612388.1 - 本发明公开了一种纳米薄膜轴销力传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该传感器包括：本体；所述本体上设置有两个敏感区域；所述敏感区域上设置有四个纳米敏感电阻；所述纳米敏感电阻形成惠斯通电桥；所述纳米敏感电阻包括：绝缘层、应变敏感层、焊盘和保护层；所述应变敏感层为NiCrMnMoSi层。本发明中传感器采用一体化弹性体设计，将纳米敏感电阻直接布有整体式弹性体上，减少纳米敏感电阻的装配过程；同时还能减少应力影响，从而有效提高精度，降低成本。 实质审查
一种应变梁制造方法及压力传感器 CN202211545229.4 2023-05-02 本发明提出了一种应变梁制造方法，涉及传感器领域。包括加工凹槽、研磨抛光、光刻电桥、分隔应变梁和将应变梁与弹性体结合的制作步骤；使用该方法制作的应变梁缩短了加工周期，减少了废料的产生，提升了成品率，有利于批量生产。此外本发明还提出一种压力传感器，包括由上述方法制得的应变梁，能够实现和上述同等的有益效果。 专利权的授权
一种应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器 CN202211503330.3 2023-03-10 本申请提出了一种高温恒弹性合金材料及其制备应变梁的工艺、应变梁与弹性体的装配结构和压力传感器，涉及传感器技术领域。该高温恒弹性合金材料包括以下原料：Ti、Al、Ni、V、Nb、Co、Cr、Mo+W、Cu、Ag、C、Si、S、P、Mn、Ce+La、Ru+Ir，其余为Fe。该材料具有力学性能好，耐高温的优点，由该材料制备的应变梁与弹性体的装配结构不会受到表面凹陷困扰，由此装配结构组成的压力传感器具有工作温度范围大，灵敏度高和稳定性好的优点。 专利权的授权
一种力敏芯体及压力传感器 CN202211472524.1 2023-07-18 本申请涉及一种力敏芯体，包括：弹性体、限位块、和信号转接电路板，弹性体的中间设置有通孔，弹性体的两侧边分别固定设置有限位块，弹性体上采用纳米级薄膜溅射的方式设置有至少4个应变电阻，至少4个应变电阻围绕通孔设置，信号转接电路板固定设置在弹性体上，和应变电阻连接，用于将应变电阻收到的弹性应变的机械信号转变为电信号，发送给调理电路，由于应变电阻是通过纳米级薄膜溅射的方式设置于弹性体上，应变电阻不易脱落，高低温温漂小，且应变电阻围绕通孔设置在弹性体上变形量最大的位置，能够有效地提高应变电阻的灵敏度，从而显著地提高了力敏芯体的长期稳定性和测量精度。 专利权的授权