专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
真空玻璃生产线用吸气剂供给装置 CN201911015303.X 2023-12-29 本发明公开了一种真空玻璃生产线用吸气剂供给装置，包括旋转驱动轴、驱动电机、旋取装置、储片装置；旋转驱动轴与驱动电机连接；旋取装置包括固定内盘、旋取盘、固定外盘，旋取盘置于固定内盘与固定外盘之间，旋转驱动轴与旋取盘连接，在固定内盘上设有供片孔、弹片孔，在旋取盘上设有取片孔，在固定外盘上设有加热工位孔、去壳工位孔；储片装置包括储片管，储片管内中空，储片管位于真空室外一端封闭，另一端与固定内盘连接并与供片孔相对应，储片管内设有弹簧，吸气剂片置于储片管内并通过弹簧压紧。本发明可实现在线供给吸气剂，并用高频加热的方法快速激活吸气剂，使真空玻璃的钢化性能不被大面积、长时间、高温加热退化。 专利权的授权
一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置 CN201910998371.6 2024-08-27 本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置，包括真空室体、阴极布气装置和真空室内环境布气装置，所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩，阴极外罩和阴极体绝缘，阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接，在阴极外罩内部设有通气孔，通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内，在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔，所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管，在布气管上分布有布气孔，每个布气管单独通过供气管道与工艺气体馈入接口连接。本发明的布气装置保证了移动阴极在动态工作时工艺气体供给的稳定性、均匀性。 专利权的授权
化学气相沉积镀膜设备布气装置 CN201910997233.6 - 本发明公开了一种气相沉积镀膜设备布气装置，包括布气盒、上层布气管、下层布气管，布气盒为由真空室盖板、布气框以及靠近基片侧的布气板组成的一个封闭盒体，上层布气管、下层布气管均由进气管、方通管、导流管道组成，进气管穿过一侧布气框与设置在布气盒内的方通管连通，导流管道均布在方通管相互平行的两条管道之间，导流管道两端与方通管连通，导流管道上均匀分布有多个布气微孔，上层布气管的导流管道与下层布气管的导流管道交错布置，在布气板上分布有多个喷气嘴。本发明可将多种工艺气体混合后均匀的喷淋到基片的表面，可以做到大面积均匀喷淋布气，实现化学气相沉积设备获得大面积、均匀性、一致性的膜层镀膜。 实质审查
大型磁控溅射镀膜机的真空室结构 CN201910997250.X - 本发明公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本发明的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、使用方便。 实质审查
一种真空室内在线运动监控温度测量装置 CN201811576508.0 2024-06-18 本发明公开了一种真空室内在线运动监控温度测量装置，包括装载小车、真空室，装载小车上的活动盘中心处设有延伸至装载小车底部的驱动座，驱动座底面设有通槽、热电偶接线柱以及与热电偶接线柱连接的连接块，接线柱连接热电偶，真空室底部的传动轴上固定有驱动块以及与连接柱，在连接柱内设有弹簧及球面体，驱动块位于通槽内，并且球面体在弹簧作用下嵌入连接块上的球面槽内，传动轴另一端通过信号柱封闭，信号柱上设有导电环，传动轴内部通过导线连接导电环与弹簧，温控仪通过碳刷与导电环连接。本发明能实时测量到产品表面的实际温度，同时解决了因工件装载小车运动造成测量温度不准确的问题。 专利权的授权
一种单体镀膜机的水冷系统 CN201811550552.4 - 本发明公开了一种单体镀膜机的水冷系统，包括旋转鼓，旋转鼓上端板连接旋转轴，旋转轴与真空室壁通过磁流体密封装置密封，下端板上连接有支撑轴，旋转轴为空心轴，其中空部设有进水管，进水管与旋转轴之间形成出水通道，在真空室内的旋转轴末端通过端盖封闭，其上设有与进水管连通的主进水口以及与出水通道连通的主出水口，在上端板上还固定有分水盘，分水盘上设有第一环形水槽和第二环形水槽，第一环形水槽与主进水口连通，第二环形水槽与主出水口连通，贴近挂板内壁设有一圈内围板，在内围板背面固定有多段水冷管，水冷管的进水端、出水端分别通过金属软管连接第一环形水槽、第二环形水槽。本发明提高了冷却效果、减小了漏水的风险。 实质审查
一种真空环境下的动力传输装置 CN201811538456.8 - 本发明公开了一种真空环境下的动力传输装置，包括输入轴、输出轴、外壳体、内壳体，内壳体呈圆筒状，内中空，内壳体穿透真空腔体壁并与真空腔体壁密封连接，内壳体在大气侧一端通过顶盖封闭，位于真空侧的输出轴伸入内壳体内并通过轴承与内壳体连接，在靠近大气侧一端的输出轴上套有一圈第一磁铁，外壳体套在大气侧的内壳体外并与内壳体间留有间隙，在该间隙处设有旋转套筒，旋转套筒与内壳体之间通过轴承连接，在旋转套筒内壁上设有与第一磁铁对应的第二磁铁，旋转套筒穿过外壳体与输入轴连接。本发明输入轴与输出轴无接触传动，传动时只是壳体与腔壁的静密封，实现了零泄露，输入轴端与输出轴端不接触，从而不会存在卡死的现象。 专利申请的驳回
一种溅射阴极匀气装置 CN201811538444.5 - 本发明公开了一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套在匀气外管内，匀气内管与进气管道连接，进气管道穿过阴极靶门并与气体流量控制器连接，在匀气内管壁四周分布有出气孔，在匀气外管上沿长度方向分布有多个出气喷嘴。本发明通过在溅射阴极长度方向两边布置匀气管，外部通过单独的气体流量控制器来控制每一段匀气管的气体流量，对溅射阴极上中下各位置进行工艺气体流量补偿，进而来提高或者降低阴极区域等离子体浓度，提高产品的质量。 专利申请的驳回
一种真空室用翻板阀门装置 CN201811538461.9 - 本发明公开了一种真空室用翻板阀门装置，包括阀板，所述阀板上设有一组以上的连接装置，所述连接装置包括两根平行设置的连接杆，在两个连接杆之间设有连接座，连接座与连接杆之间通过轴活动连接，所述连接座通过螺杆与阀板连接，在连接座与阀板之间的螺杆上套有蝶形弹簧，在连接座两侧的连接杆上各设有一穿透连接杆与阀板接触的调节杆，连接杆固定在一通轴上，通轴两端分别与穿透真空室壁的联轴器连接，联轴器与真空室壁之间通过磁流体密封装置连接，联轴器另一端连接驱动装置。本发明密封性能好、结构简单、加工方便、成本低，易损件都是常规产品，有效降低了生产成本和提高了运行效率。 专利申请的撤回
一种靶材冷却装置 CN201811537494.1 - 本发明公开了一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进、出水口，在靶座上与进、出水口对应位置分别开有进、出水通道，进、出水通道在与进、出水口对接处内置有密封隔套，在密封隔套与靶材背板连接处设有密封圈，进、出水通道的另一端通过连接法兰连接外部进、出水管。本发明通过背板直接对靶材进行冷却，冷却效果好，可快速降低靶材温度，每次更换靶材时，可直接将背板从靶座上取下，不需要拆卸进出水接头，从而减少对背板的损伤，提高了更换的效率。 专利申请的驳回