专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
铸造单晶硅用隔热底板、铸造单晶硅生长设备及铸造单晶硅的制备方法 CN201810876130.X - 本发明公开了一种铸造单晶硅用隔热底板、铸造单晶硅生长设备和铸造单晶硅的制备方法,该隔热底板包括隔热板基板和设于隔热板基板上的活动式隔热板。铸造单晶硅生长设备包括上述隔热底板。铸造单晶硅的制备方法利用铸造单晶硅生长设备制备铸造单晶硅。本发明铸造单晶硅用隔热底板具有操作简单、可控性强等优点,能够实现对温度的有效控制。本发明铸造单晶硅生长设备具有操作简单、热场均匀性可控、长晶质量可控等优点。本发明制备方法具有工艺简单、易操作、成本低廉、单晶硅籽晶用量小、单晶率高、位错率低等优点,适合于大规模制备,利用工业化生产,有着很好的应用价值和应用前景。 专利申请的驳回
一种石墨框装片装置 CN201711388001.8 - 本发明公开了一种石墨框装片装置,包括石墨框定位组件、上料同步带、下料同步带、用于校正硅片与上料同步带的相对位置的校正组件、用于定位上料同步带上成列硅片的定位组件、平移组件以及升降组件,所述上料同步带和所述下料同步带平行布置于所述石墨框定位组件两侧,所述校正组件和所述定位组件沿所述上料同步带的传送方向布置,所述平移组件横跨于所述石墨框定位组件、上料同步带以及下料同步带上方,所述升降组件安装于所述平移组件上,升降组件上沿所述上料同步带的传送方向均匀安装有多个用于装片的吸盘。本发明具有硅片定位准确、装片动作简单、装片效率高等优点。 专利申请的撤回
一种五管PECVD设备的真空排气系统 CN201711385245.0 2020-02-07 本发明公开了一种五管PECVD设备的真空排气系统,包括真空管道组件和排气组件,真空管道组件包括五根真空管道,真空管道一端与五管PECVD设备的反应室的反应室连接管道相连,另一端与外部真空泵相连,排气组件包括五根排气管道,每根排气管道通过连接接头与反应室连接管道,排气管道上设有串联的单向阀和控制阀,单向阀用于使气体从反应室连接管道通入排气管道,控制阀用于控制排气管道的通断。本发明中当通入氮气过多导致反应室压力超过常压时,氮气通过排气管道输出,与外部的排气系统汇合后排出,当泵发生故障时,反应室内和真空管道内的气体也可以通过排气组件排出,单向阀可避免了外界空气流向反应室。 专利权的授权
一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置 CN201711382216.9 2020-04-03 本发明公开了一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置,包括安装于石墨舟上的石墨舟脚和用于支撑石墨舟的支撑组件,所述支撑组件上设置有与石墨舟脚相对应的石墨舟座,所述石墨舟座通过一连接组件与石墨舟电极杆电连接。本发明的管式PECVD设备石墨舟电极引入装置具有对电极效率高以及可靠性高等优点。   专利权的授权
一种用于石墨舟的预热箱 CN201711385277.0 2020-05-15 本发明公开了一种用于石墨舟的预热箱,包括盖板、预热箱主体和加热元件,预热箱主体包括顶板、后侧板和底板,盖板包括左侧板、右侧板和前侧板,顶板、后侧板、底板与左侧板、右侧板和前侧板围成一个放置石墨舟的空腔,加热元件设于该空腔内,底板的左侧、右侧和前侧分别设有左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁,左侧板、右侧板和前侧板分别支承于左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁上,前侧增高梁与左侧增高梁和右侧增高梁之间预留石墨舟通道,顶板左端面与左侧板的内侧面共面,顶板的右端面与右侧板的内侧面共面,盖板、预热箱主体之间设有驱动盖板沿后侧板升降的升降驱动。本发明具有专门针对石墨舟进行加热、占用空间小的优点。 专利权的授权
一种五管PECVD的石墨舟缓存架 CN201711385255.4 2020-05-15 本发明公开了一种五管PECVD的石墨舟缓存架,所述缓存架设有多个缓存位,所述多个缓存位从下至上间隔设置,所述多个缓存位中序号为奇数的缓存位上设有风机组件,所述风机组件包括风机板和多个风机,所述多个风机设于风机板上且各风机的风机口朝上,所述风机板设于对应的缓存位上。本发明具有用热的石墨舟对冷的石墨舟进行预热,充分利用热量,提高缓存架的散热能力的优点。 专利权的授权
双面PERC电池的背面栅线结构、双面PERC电池及其制备方法 CN201711362873.7 - 本发明公开了一种双面PERC电池的背面栅线结构、双面PERC电池及其制备方法,该背面栅线结构包括若干条铝栅线和若干条背电极主栅,铝栅线与背电极主栅垂直连接,铝栅线的下方设有若干段相互间隔的激光线;铝栅线由若干段宽铝栅线和若干段窄铝栅线交替连接而成,宽铝栅线的数量与激光线的数量相同,宽铝栅线用于覆盖激光线实现铝与硅的局部欧姆接触并导出硅片内部的电子,窄铝栅线用于收集硅片内部导出的电子并传输到背电极主栅上。本发明的背面栅线结构具有结构简单、设计成本低等优点。包含该背面栅线结构的电池具有背面光电转化效率高、输出功率高、翘曲度小、隐裂风险小等优点,其制备方法具有简单、成本低、可适用于大规模量产等优点。 专利申请的驳回
一种管式PECVD在线式控制系统及控制方法 CN201711362685.4 2020-09-18 本发明公开了一种管式PECVD在线式控制系统,包括上下料控制单元和工艺管控制单元,所述上下料控制单元分别与插片机和工艺管控制单元通讯相连,用于获取所述插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元,所述工艺管控制单元用于根据石墨舟信息对工艺管进行自动控制。本发明还公开了一种控制方法,包括以下步骤:S01、在插片机进行插片作业时,所述上下料控制单元获取插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元;S02、工艺管控制单元根据石墨舟信息提前选择石墨舟对应的工艺管桨以及工艺参数以进行自动控制。本发明的系统及方法均具有自动化程度高以及生产效率高等优点。   专利权的授权
一种多晶硅铸锭炉 CN201711237496.4 - 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体以及设于炉体内的石墨立柱、中心热偶和溢流隔离装置,所述溢流隔离装置包括连续型溢流棉和圆台形的隔离本体,所述隔离本体底面与所述炉体的下炉腔内壁紧密贴合,所述隔离本体的顶面具有贯穿隔离本体且竖直向上延伸的第一圆筒和第二圆筒,所述第一圆筒包裹于石墨立柱外,所述第二圆筒包裹于中心热偶外,所述连续型溢流棉覆盖于隔离本体顶面和侧面并延伸至下炉腔内壁上。本发明全面阻碍了液态硅料与下炉腔内壁的接触可能性,避免液态硅料直接接触到炉体而引起炉体爆炸情况。 专利申请的驳回
一种减压扩散炉尾气冷却装置 CN201711239530.1 2019-07-26 本发明公开了一种减压扩散炉尾气冷却装置,包括进气管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套组件、进气端盖、抽气端盖、抽气管和冷却系统,石英冷凝瓶位于冷凝瓶套组件内,两端分别通过进气端盖和抽气端盖密封,石英冷凝瓶包括第一腔室、第二腔室和第三腔室,第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部,第一腔室与第二腔室连通,第二腔室与第三腔室连通,进气管穿过进气端盖伸入第一腔室内,抽气管穿过抽气端盖伸入第三腔室内,进气管的气流方向与第一腔室内的气流方向相反,抽气管的气流方向与第三腔室内的气流方向相反,冷却系统包括分设于第二腔室和第三腔室内的第一冷却部件和第二冷却部件。本发明可使尾气在小空间内长距离运动,增加尾气与冷却部件的接触面积。 专利权的授权