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一种管式LPCVD真空反应室 CN201811455572.3 2020-08-14 本发明公开了管式LPCVD真空反应室,包括炉门、前端法兰、前支撑法兰、前密封组件、加热炉体、后支撑法兰、后密封组件、尾端法兰、内层石英管和外层石英管,加热炉体套于外层石英管上,前支撑法兰和后支撑法兰分别位于外层石英管的两端的外管壁上,前支撑法兰、加热炉体和后支撑法兰三者固定设置,炉门与前端法兰连接,前端法兰盖设于内、外层石英管的前端端口,前端法兰与外层石英管之间通过前密封组件连接,前密封组件固定在前支撑法兰上,尾端法兰设于内、外层石英管的后端,且尾端法兰与外、内层石英管之间通过后密封组件连接,后密封组件固定在后支撑法兰上。本发明具有拆卸维护更加简单、快捷,缩短了维护时间,经济效益显著的优点。   专利权的授权
太阳能电池片生产工艺中用于搬运花篮盒的AGV小车 CN201811420107.6 2021-02-23 本发明公开了一种太阳能电池片生产工艺中用于搬运花篮盒的AGV小车,包括具有激光导航功能的AGV底盘和设于AGV底盘上的主车箱,主车箱内部分为上下两层,每层设有两个并排的存放区,每个存放区至少可以存放一个花篮盒,存放区的底部设有传送花篮盒的传送机构,主车箱至少有一个侧面为敞开的,各存放区的进口位于主车箱敞开的一侧,主车箱设有信号收发单元。本发明的AGV小车能自动装卸和传递花篮盒,解决了人工搬运花篮劳动强度大、生产效率低、碎片率高和容易造成硅片污染的问题,能够实现太阳能电池线的完全自动化生产,极大提高工作效率和产品质量,同时很大程度降低了生产成本,提高经济效益。   专利权的授权
一种管式PECVD石墨舟结构 CN201811354016.7 2020-09-18 本发明的管式PECVD石墨舟结构,包括陶瓷基座、两个舟片锁紧盘组件、两个陶瓷固定环、石墨棒和多个舟片,舟片锁紧盘组件包括陶瓷绝缘盘和石墨导电盘,石墨导电盘上设有多个卡槽和多个第一导电槽,卡槽与第一导电槽均匀交错布置,陶瓷绝缘盘上设有多个卡齿,卡齿与卡槽的数量相等且二者配合,卡齿上设有第二导电槽,陶瓷基座上的安装柱面上设有舟片安装槽,陶瓷固定环上设有固定槽,舟片可沿轴向插入舟片安装槽内,舟片前端同时卡在前端的第一导电槽和固定槽内,舟片的后端同时卡在后端的第二导电槽和固定槽内。本发明中舟片呈扇形布置,充分利用石英管的空间,载片量比现有大,石墨舟电极处在石英管的中心,而舟片在电极外周,能使气流场更平顺均匀。   专利权的授权
一种PECVD电热炉体测试设备 CN201811325241.8 2020-08-14 本发明公开了一种PECVD电热炉体测试设备,包括炉体承载平台和测试电控柜,炉体承载平台包括底架和至少一组炉体支撑架,各组炉体支撑架在底架上同一层布置或者在底架上分多层布置,每组炉体支撑架包括两个端面密封块、两个端面压紧组件和至少两根横梁,各横梁沿炉体长度方向间隔设置,每个横梁上设有一对可相互靠近或远离的支撑件,两个端面压紧组件位于外侧的两个横梁上,电热炉体布置于各横梁的支撑件上,两个端面密封块通过各端面压紧组件压紧在电热炉体的两端,电热炉体通过加热电线和外热偶分别与电控柜内的变压器和温控仪连接。本发明可兼容不同长度和口径的电热炉体,提高了炉体测试的效率、减少了烘烤对净化间的污染。   专利权的授权
一种多晶硅铸锭炉 CN201811119620.1 - 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、隔热笼、隔热底板、隔热顶板、侧加热器、坩埚和热交换台,炉体内底壁上设有石墨立柱,隔热底板支撑于石墨立柱上,炉体内顶壁设有铜电极,隔热顶板悬挂于铜电极上,隔热笼设于隔热底板与隔热顶板之间,且三者形成加热腔室,石墨立柱顶端穿过隔热底板位于加热腔室内,热交换台安装于石墨立柱顶端,坩埚位于热交换台上,侧加热器位于坩埚的侧壁外,两端分别通过角接器安装在铜电极上,角接器沿竖直方向设有至少两列安装孔,安装孔用于安装侧加热器,每列安装孔从上至少设置多个以使侧部加热器的高度可调节。本发明具有侧部加热器可以沿着铸锭炉内坩埚的高度方向调节,可满足全熔和半熔铸锭工艺切换的优点。   专利申请的驳回
一种双电源控制多晶铸锭化料工艺 CN201811032155.8 - 本发明公开了一种双电源控制多晶铸锭化料工艺,采用开笼半熔工艺对硅料进行熔化,在熔化的不同阶段,控制顶部加热器与侧部加热器的协调因子n由0.3逐步向3.0调节,n=P1/P2,其中P1为顶部加热器的输出功率,P2为侧部加热器的输出功率。本发明双电源控制多晶铸锭化料工艺具有化料过程可控、安全性高、化料成本低廉、化料效率高等优点,适合于大规模制备,利于工业化生产,且相比常规化料工艺,本发明化料工艺所得籽晶层没有完全熔化,剩余籽晶层保留界面平坦,能够获得更大的籽晶保留面积。 专利申请的撤回
一种降低黑硅电池组件封装功率损失的方法 CN201811010003.8 2021-11-26 本发明公开了一种降低黑硅电池组件封装功率损失的方法,在同一效率或总电流分档的电池片中,测量各电池片的短波电流或长波电流,将短波电流或长波电流在同一预设范围内的电池片进行统一封装。本发明的方法具有降低黑硅电池组件封装功率损失且操作简便等优点。 专利权的授权
一种管间资源共用的管式PECVD设备 CN201810989914.3 - 本发明公开了一种管间资源共用的管式PECVD设备,包括炉体柜、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件、第二转换组件和第三转换组件,所述炉体柜内安装有多根炉管,所述真空与压力系统通过第一转换组件与多根炉管相连,用于实现与不同炉管的连接切换;所述气路系统通过第二转换组件与多根炉管相连,用于实现与不同炉管的连接切换;所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管相连,用于实现与不同炉管的连接切换。本发明的管间资源共用的管式PECVD设备具有结构简单、部件利用率高、成本低且占用面积小等优点。 专利申请的驳回
一种管式真空反应炉 CN201810941107.4 - 本发明公开了一种管式真空反应炉,包括不锈钢炉管、不锈钢前法兰盘、不锈钢后法兰盘、以及炉门,所述不锈钢炉管前端与所述不锈钢前法兰盘焊接,不锈钢炉管后端与所述不锈钢后法兰盘焊接,所述不锈钢前法兰盘中部开设有供反应物载具进出所述不锈钢炉管的进料孔,所述炉门与所述不锈钢前法兰盘的前端面之间设有密封件,所述不锈钢前法兰盘的后端面焊接有进气管,所述不锈钢后法兰盘的中部开设有抽气孔并于抽气孔处焊接有抽气组件。本发明具有结构简单、安装方便、不易出现漏气等优点。 专利申请的驳回
一种铸造单晶硅的制备方法 CN201810876213.9 - 本发明公开了一种铸造单晶硅的制备方法,该制备方法包括以下步骤:在石英坩埚底部中心放置一块单晶硅籽晶,装入硅原料和母合金;对石英坩埚进行加热,使硅原料和母合金完全熔化,单晶硅籽晶部分熔化,进入长晶阶段;控制硅熔体的横向温度梯度和纵向温度梯度,使晶体从单晶硅籽晶和硅熔体的接触面向四周及向上生长,得到铸造单晶硅锭。本发明制备方法具有工艺简单、易操作、成本低廉、单晶硅籽晶用量小、单晶率高、位错率低等优点,适合于大规模制备,利用工业化生产,有着很好的应用价值和应用前景。 专利申请的撤回