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高密度ITO靶材的制备方法 CN202210487844.8 2023-03-31 本发明涉及一种高密度I TO靶材的制备方法，属于光电材料制备技术领域，包括以下步骤：向去离子水中加入单体、交联组分和分散剂，搅拌均匀后用氨水调节pH至9‑10，得到预混液；向预混液中加入I TO粉体，球磨得到浆料，再加入引发剂和催化剂，混合后加入气干性助剂，搅拌均匀，得到I TO浆料；将I TO浆料浇注于模具中并在55‑70℃条件下干燥2‑5h固化成型，脱膜得到I TO坯体；将I TO坯体干燥、脱脂、烧结，得到高密度I TO靶材；本发明通过加入气干性助剂和交联组分，克服现有凝胶注模成型的I TO靶材坯体表面有氧阻聚问题，所得I TO坯体相比密度在75％以上，I TO靶材相对密度在99.9％以上。 专利权的授权
一种低阻高透过率ITO导电膜 CN202210482603.4 2023-08-22 本发明涉及一种低阻高透过率I TO导电膜，属于导电膜技术领域，包括以下重量份原料：改性纳米氧化铟锡6‑15份、水85‑94份、表面活性剂0.4‑1.2份。所述表面活性剂由改性聚乙二醇和十二烷基硫酸钠按照质量比为10:1‑3混合组成；所述改性聚乙二醇包括以下步骤制成：将超支化环氧树脂和聚乙二醇混合均匀后，加入氢氧化钠，调节溶液pH值为10‑11，然后加热至80‑95℃，搅拌反应8‑12h，经后处理，得改性聚乙二醇。所述改性聚乙二醇是接枝有聚乙二醇的超支化聚醚，具有大量含有醚键、羟基的空腔，且改性氧化铟锡表面的环氧基和空腔中含有的羟基发生化学键连，进一提高了改性氧化铟锡在水中分散的稳定性。 专利权的授权
一种用于靶材制作的高纯氧化物制备方法 CN202210424379.3 2023-06-02 本发明公开了一种用于靶材制作的高纯氧化物制备方法，涉及靶材制备技术领域，将铝离子、镓离子、锌离子以及铟离子分别加入电解液内进行电解以得到电解所得铝、电解所得镓、电解所得锌以及电解所得铟，而后对各电解所得物水解后进行甩干处理，将甩干后的电解所得铝、电解所得镓、电解所得锌以及电解所得铟进行加热以获得前驱体，再对前驱体进行煅烧处理以获得高纯氧化铝粉末、高纯氧化镓粉末、高纯氧化锌粉末以及高纯氧化铟粉末，得到了高纯度的金属氧化物粉末，在靶材制作的过程中，使得该高纯氧化物在制备靶材时，在致密度、电阻率以及载离子迁移率方面得到显著提升。 专利权的授权
一种ITO靶材烧结尺寸控制方法 CN202210415504.4 - 本发明公开了一种ITO靶材烧结尺寸控制方法，本发明作为一种ITO靶材烧结尺寸控制方法，通过晾坯：将ITO靶材坯体，放置5‑10天；对位：将ITO靶材坯体放置在承烧板上；烧结：将承烧板放置在烧结炉内，盖上炉盖，向烧结炉内通入氧气；缩板：控制承烧板聚拢，烧结完成降温开炉，得到相对密度大于90％的ITO靶材；对ITO靶材坯体烧结过程中的垂直方向收缩偏差做出补偿，使制得ITO靶材更加均匀，从而提高ITO靶材磁控溅射的利用率；其中缩板步骤中使用一种ITO靶材烧结尺寸控制装置，此装置通过转动盘上的弧形槽带动控制杆沿转动盘的径向移动，实现承烧板的收缩自如，从而补偿ITO靶材坯体底部收缩不足的问题。 专利申请的驳回
一种回收率高的ITO废靶粉末还原方法及设备 CN202210406170.4 2023-08-01 本发明涉及一种回收率高的ITO废靶粉末还原方法及设备，属于稀有合金分离回收设备技术领域，包括以下步骤：S1、在还原炉中将废靶粉料进行还原，得到金属铟和金属锡，S2、将金属铟和金属锡铸型成铟锡合金，S3、通过还原设备将铟锡合金表层的氧化层去除，S4、通过还原设备对铟锡合金进行电解，S5、通过还原设备将分离后的锡与铟进行收集，本发明通过启动驱动电机驱动螺杆，将第一移动盒与第二移动盒内电解后的锡与铟排放至收集箱中，在螺杆转动的同时使筒形钢刷对铟锡合金的表层进行打磨，完成对锡、铟的收集以及对铟锡合金的打磨，提高后期电解与收集效率，另外在第一移动盒与第二移动盒上升与下降的同时将收集箱内的液体过滤。 专利权的授权
一种IGZO靶材及其制备方法、检测系统 CN202210394032.9 - 本发明公开了一种IGZO靶材及其制备方法、检测系统，属于IGZO靶材技术领域；解决如何基于不添加粘结剂条件下同样保证IGZO靶材的高致密度及成材率；通过选取比表面积为20‑25m2/g、原子比In:Ga:Zn＝1:0.9‑1.3:1的高纯铟、镓、锌进行粉体制备、成型、IGZO烧结靶、机加、超声波清洗、绑定、检验最后入库实现在成型阶段免除了添加剂的使用，避免了新杂质的加入影响材料纯度，同时避免了烧结时有机物分解产生气孔和断面；通过对制造的IGZO靶材进行致密度及微观形貌微观组织及成分进行检测，进而确定IGZO靶材的致密度与导电性。 专利申请的驳回
一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备 CN202210292313.3 2023-09-12 本发明公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接；所述转动组件设置在所述第一移动支架上，所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；该装置通过转动组件、升降组件及真空机之间的配合，利用大气压完成进料按压，在按压材料的过程中不断提高第一移动支架的高度，经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除，并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实，进而增加成型件密度。 专利权的授权
基于高纯铟产物生产专用成型设备 CN202210266681.0 2023-04-21 本发明公开了基于高纯铟产物生产专用成型设备，包括造粒罐，所述造粒罐的一侧壁上安装有除尘设备，除尘设备用于除去造粒罐内的灰尘，造粒罐上连接有进气管和粉体输送管，进气管用于向造粒罐内输送热空气，粉体输送管用于向造粒罐内输送IGZO粉体，粉体输送管的一端伸入造粒罐内连接有喷嘴，还包括加热冷却结构和筛选结构，加热冷却结构用于对造粒罐内部进行加热或降温，筛选结构设置在造粒罐内，筛选结构用于对喷雾造粒后的粉末进行筛分。在造粒成型前，可对造粒罐内部进行加热，减少温差，提高成型效果，造粒成型后，提高造粒罐的冷却效果，并同时对粉末进行筛选研磨，减轻工作强度，提高加工效率。 专利权的授权
一种用于管状靶材的真空烧结系统 CN202210265521.4 2023-05-12 本发明公开了一种用于管状靶材的真空烧结系统，第一压盖设置有第一模具，第二压盖设置有第二模具，第一模具与第二模具配合用于成型，第一保温壳与第二保温壳形成的加热腔内设置有加热装置；第一压盖设置在机架上，第二压盖固定连接在加压装置的输出端，加压装置固定连接在机架上；加压装置包括恒压装置和反馈装置，恒压装置用于提供稳定压力，反馈装置用于提供附加压力；通过反馈系统以位置为依据，当第一模具逐渐靠近第二模具时，反馈装置提供的附加压力逐渐变大，使素坯所受压力在烧结过程为逐渐变大，较小的初始力避免过早得出较大的晶粒，靶材烧结过程中各部位的累积受力的差异缩小，从而使各部位的晶粒的大小趋于均匀。 专利权的授权
一种IGZO靶材的成型压制设备 CN202210255296.6 2022-10-11 本发明公开了一种IGZO靶材的成型压制设备，包括支撑座和固定在支撑座上方的支撑台，支撑座的顶壁上固定有成型模具，支撑台的下表面安装有冲压气缸，且冲压气缸的活塞杆连接有冲压板，所述支撑座为矩形空腔结构，成型模具的底壁与支撑座的顶壁相连通，成型模具与支撑座之间设置有震动推料组件，震动推料组件用于将粉末震动铺平并将成型后的素坯推出，支撑座与支撑台之间设置有加料组件，加料组件可自动将粉末加入成型模具内，在压制前，可自动添加粉末进入成型模具内，并将成型模具内的粉末震铺平，提高压制成型的质量，设备的联动性好，操作简单，提高了工作效率与安全性，并减少了粉尘的飞扬，安全环保。 专利权的授权