- 专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
- 一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极 CN201810447697.5 2023-08-22 本发明公开了一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极，包括：电极接头、水冷电极、进水接头、出水接头和分水管，电极接头的一端与水冷电极相连，分水管包括贯穿水冷电极和电极接头的第一内分水管、第二内分水管、延伸出水冷电极顶部的外分水管网，进水接头通过第一内分水管与外分水管网相连，出水接头通过第二内分水管与外分水管网相连；电极接头外覆盖有绝缘套，绝缘套外覆盖有外屏蔽罩，外屏蔽罩通过固定装置与立式硅片磁控溅射镀膜机内的支架底部相连，水冷电极与立式硅片磁控溅射镀膜机内的支架之间设置有密封绝缘套。本发明将加热和清洗步骤同时进行，并且利用等量的冷却水进行了双重散热，散热效果好、密封绝缘性佳。 专利权的授权
- MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺 CN201810282483.7 2024-09-17 本发明公开了一种MEMS陀螺过零点抽取消除零偏方法、电路以及MEMS陀螺，消除零偏方法步骤包括获取MEMS陀螺的振动信号进行过零检测，在零点时刻对MEMS陀螺输出的混合有正交信号的检测信号进行ADC变换采样后输出；电路包括过零检测电路和ADC采样变换电路，过零检测电路的输入端与MEMS陀螺的振动信号输出端相连，过零检测电路的输出端与ADC采样变换电路的控制端相连，ADC采样变换电路的输入端与MEMS陀螺的检测信号输出端相连；MEMS陀螺包括前述的MEMS陀螺过零点抽取消除零偏电路。本发明不仅省去了乘法解调电路，并且可以减少信号畸变引起的误差，具有检测精确高的优点。 专利权的授权
- 一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法 CN201711173188.X 2018-10-26 本发明公开了一种轴对称硅微机械陀螺敏感结构及其制造方法，敏感结构包括两侧设有键合锚点的弹性框架，弹性框架上设有轴对称的通孔区域且其对称轴线处设有“H”型支撑梁，“H”型支撑梁的两侧各设有两个轴对称的两个敏感质量块，且敏感质量块布置于通孔区域内且一侧通过联接梁与“H”型支撑梁相连；制造方法包括采用干湿结合在单个硅片上制备敏感结构。本发明的轴对称硅微机械陀螺敏感结构实现了结构的完全轴对称分布，降低结构损耗，减小应力集中，降低运动耦合，提高结构的机械灵敏度；本发明制造方法具有加工工艺简单、加工质量高、结构鲁棒性好、稳定性好、应用范围广等优点。 专利申请的更正
- 一种路灯杆用智能变形监测终端 CN201711012899.9 - 本发明公开了一种路灯杆用智能变形监测终端，装置包括：磁强计、处理模块和电源模块；所述磁强计用于测量安装位置的地球磁场矢量；所述处理模块用于根据所述地球磁场矢量判断所述路灯杆的扭曲状态是否正常；所述电源模块用于为所述磁强计和处理模块供电。本发明具有监测精度高，可针对路灯杆的倾斜、扭曲等多种状态进行监测等优点。 实质审查
- 一种基于SigmaDeltaModulator的模数转换器 CN201710521647.2 2023-08-29 本发明提供了一种较高精度的模数转换器结构，主要由第一延时积分器、第一时钟比较器、第一抽取器、第二抽取器、第二延时积分器、第二时钟比较器、第一加法器、第二加法器以及第三加法器组成，可以达到较高精度的模数转换，同时在不增加数字处理复杂度的情况下实现较快的转换速度。 专利权的授权
- 用于提高训练效果的智能服装及其方法 CN201610527780.4 - 本发明提供一种用于提高训练效果的智能服装及其方法，该智能服装布置了多个传感单元，每个单元包括1个EMG传感器、1个9轴微惯性传感器和一个用于电刺激的电极片。该服装能够实现对人体不同部位肌肉的发力大小和用力方向的矢量测量，并与期望的发力大小和用力方向进行对比，通过与先验动作模型的发力方向与发力大小进行对比分析，找出两者动作差异，反馈给使用者，达到动作姿势矫正的目的，并通过肌电传感器得到的数据进行分析，得出在特定动作下的最优用力大小和方向。在运动过程中，施以不同类型的电刺激，对肌肉进行加大载荷或对肌肉进行按摩，从而提高训练效果。 专利申请的驳回
- 带有导通组件的微机械传感器及其加工方法 CN201510085418.1 2016-09-28 本发明公开了一种带有导通组件的微机械传感器及其加工方法。该微机械传感器包括上盖、敏感硅结构和下盖，所述上盖上设有上固定电容板，所述下盖上设有与所述上固定电容板相对的下固定电容板，所述敏感硅结构设于上固定电容板和下固定电容板之间，所述上盖和下盖之间还设有用于将所述上固定电容板的金属电极引至下盖的导通组件，有效解决上盖板电极的引出难题，结构简单、成本低廉；本发明的加工方法，包括以下步骤：S1：加工下盖、上盖、敏感硅结构和导通硅桥；S2：固连；S3：激光划片加工，该方法简便易行，大大降低了加工成本和加工工艺难度。 专利权的许可
- 用于微机械陀螺的信号检测方法及装置 CN201310088013.4 2015-06-24 本发明公开了一种用于微机械陀螺的信号检测方法及装置，方法实施步骤如下：1)将原始输出信号转换为电压并解调得到驱动信号；2)获取驱动信号幅值，并转换为同频率的方波信号作为驱动激励信号，根据驱动激励信号将驱动信号幅值经开关调制得到闭环控制信号；3)将闭环控制信号与直流偏置电压、驱动载波信号一起加载到微机械陀螺的驱动电极，同时将微机械陀螺的原始输出信号进行一次解调、二次解调、滤波放大、调零后输出。装置包括高频载波发生器、电容电压转换模块、驱动信号解调模块、驱动信号幅值控制单元、驱动激励信号生成单元、调制模块、电压加载单元、信号输出单元。本发明具有检测精度高、功耗低、电源接口简单、应用范围广的优点。 专利权的许可
- 基于力平衡闭环控制的硅微机械陀螺性能提升方法及装置 CN201310087539.0 2015-08-05 本发明公开了一种基于力平衡闭环控制的硅微机械陀螺性能提升方法及装置，方法包括：1)检测信号经驱动信号解调后、滤波以及PID控制后再调制至驱动信号，获取正交耦合误差信号；2)检测信号经驱动信号90°移相后得到的驱动正交信号解调后、滤波以及PID控制后获取哥氏力信号；3)将正交耦合误差信号和哥氏力信号叠加与偏置直流电压一起加载到硅微机械陀螺的检测电极。装置包括放大器、90°移相器、正交耦合误差信号获取单元、哥氏力信号获取单元、加法器、电压输出单元。本发明通过抵消作用到检测质量块上的作用力，保持检测元件维持在原有位置，能够有效避免正交误差大、特征参数漂移和同步解调中相位差等对微陀螺性能的影响。 专利权的许可
- 一种减少振动式硅微陀螺模态耦合误差的激光修形方法 CN201210432839.3 2015-03-18 本发明公开了一种减少振动式硅微陀螺模态耦合误差的激光修形方法，其步骤为：（1）信号测试：测试硅微陀螺芯片的驱动信号Vd和模态耦合误差信号Vm，并确定两信号的峰峰值大小及相位关系；（2）确定激光修形的类型：根据步骤（1）的信号确定激光修形的类型；（3）确定修形的位置：根据步骤（1）的信号确定激光修形的确切位置；（4）根据上述步骤得到的类型和位置进行激光修形。本发明原理简单、操作简便、能减少模态耦合误差、提高硅微陀螺工作性能。 专利权的许可