专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
一种连续式PECVD设备 CN201911413582.5 2021-12-24 本发明公开了一种连续式PECVD设备，所述包括载料板、进料平台、反应腔体和出料平台，反应腔体包括依次连接的装载腔、预热腔、工艺腔和卸载腔，装载腔的进料口设有第一隔断阀门，预热腔的的进料口设有第二隔断阀门，预热腔与工艺腔相通，工艺腔的出料口设有第三隔断阀门，卸载腔的出料口设有第四隔断阀门，进料平台设于装载腔的进料口，出料平台设于卸载腔的出料口，进料平台、装载腔、预热腔、工艺腔、卸载腔和出料平台上均设有用于传输载料板的传输机构，载料板用于承载石墨舟，预热腔和工艺腔均设有加热装置，工艺腔连有进气系统。本发明具有缩短了工艺时间、大幅提升了设备产能的优点。 专利权的授权
利用管式PECVD制备背面全钝化接触太阳电池的方法及背面全钝化接触太阳电池 CN201911366006.X - 本发明公开了一种利用管式PECVD制备背面全钝化接触太阳电池的方法及背面全钝化接触太阳电池，该方法包括以下步骤：对硅片进行预清洗、双面制绒、正面硼扩散、正面激光选择性掺杂、二次清洗、背面抛光；利用管式PECVD设备背面沉积二氧化硅薄膜层、磷掺杂非晶碳化硅薄膜层，并进行退火处理，使非晶碳化硅转变为微晶碳化硅；沉积Al2O3钝化层和减反射层；丝网印刷和烧结，得到背面全钝化接触太阳电池。本发明方法具有工艺简单、操作方便、成本低廉、与现有产线兼容好、制备可控性好、制备效率高、安全性好等优点，能够制备高效率的背面全钝化接触太阳电池，且适合于大规模制备，利于工业化应用，有着很高的使用价值和很好的应用前景。 专利申请的驳回
用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法 CN201911303645.1 2021-10-26 本发明公开了用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法，设备包括第一净化台、第二净化台、第一炉管、第二炉管、第一石墨舟、第二石墨舟、插取片机械手、上料输送线和下料输送线，插取片机械手位于第一净化台、第二净化台、第一石墨舟与第二石墨舟围成的区域内，上料输送线包括依次设置的上料花篮、上料传输带和上料存储架，下料输送线包括依次下料花篮、下料传输带和下料存储架。方法包括上料输送、一次插片、背面叠层膜的制备、一次卸片、二次插片、正面减反射钝化膜、二次卸片、下料输送。本发明可在同一台设备内完成背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜三种膜制备。 专利权的授权
一种电加热炉体 CN201911182187.0 2022-02-18 本发明公开了一种电加热炉体，包括炉壳、隔热层、内腔体和加热装置，内腔体设于炉壳内，隔热层设于内腔体与炉壳之间，炉壳的两端分别设有端盖和炉门，加热装置包括至少一组环形布置的加热丝，加热丝设于隔热层与内腔体之间，加热丝由一根铠装电热丝沿圆周方向S形布置形成，铠装电热丝的两端各连接一个加热器冷端，加热器冷端固定在端盖上，各组加热丝沿轴向依次布置。本发明将内腔体即反应腔体跟炉壳做成一体式的炉体结构，免去是石英管的搬运和安装环节，用铠装电热丝代替原有结构的整个炉丝，降低炉丝的热容，免去复杂的绕丝和卡绝缘子，将用于与铠装电热丝接线的加热器冷端安装在端盖上，不在炉壳的外圆周面上，避免搬运安装过程中碰断。 专利权的授权
一种基片加热系统 CN201911182234.1 2022-06-14 本发明公开了一种基片加热系统，包括基片承载舟和快速加热装置，所述基片承载舟由多个舟片并排布置，相邻两个舟片之间具有舟片间隙，所述舟片用于装载基片，所述快速加热装置包括多列铠装电加热丝，每列铠装电加热丝对应一个舟片间隙，各列铠装电加热丝插入对应的舟片间隙内。本发明首次提出通过设置与基片承载舟的舟片间隙匹配的快速加热装置，直接在基片承载舟内部快速加热，大幅提升了基片承载舟和基片的升温速率，既保证了基片承载舟整体受热均匀性，又减少了工艺过程中的升温时间，进而缩短单次工艺时间，有效提升了单台设备的产能和整舟的基片薄膜颜色外观及膜厚的一致性。 专利权的授权
一种PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置 CN201911173929.3 2022-05-03 本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。 专利权的授权
制备背面钝化膜的管式PECVD设备及方法 CN201911106895.6 2021-11-26 本发明公开了一种制备背面钝化膜的管式PECVD设备及方法，该设备包括至少一个用于沉积AlOx膜的反应室，该室的进气口连通有N2O进气管、NH3进气管、TMA/Ar进气管和N2进气管，且该室的抽气口连通有真空泵，同时二者之间设有除尘装置；该设备还包括至少一个用于沉积SiON膜/SiNx膜的反应室，该室的进气口连通有N2O进气管、NH3进气管、N2进气管和SiH4进气管。采用上述管式PECVD设备制备背面钝化膜。本发明管式PECVD设备具有反应室搭配合理、除尘装置数量少、气路系统简单、易于维护、制造成本低等优点，用于制备背面钝化膜时能够显著提高钝化膜的钝化效果，有着很高的使用价值和很好的应用前景。 专利权的授权
用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备 CN201911052715.0 - 本发明公开了一种用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，包括六轴插取片机器人和硅片过渡传输导轨，还包括三个立式镀膜反应柜，三个立式镀膜反应柜围成C形区域，硅片过渡传输导轨设于C形区域的开口处，六轴插取片机器人设于C形区域内。该用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备布局合理、集约程度高、生产效率高以及生产成本低。 专利申请的驳回
一种管式PECVD设备的控制方法及管式PECVD设备 CN201911012072.7 - 本发明公开了一种管式PECVD设备的控制方法，包括：S01、确定单个石墨舟的载片量；当石墨舟的载片量大于标准载片量时，将石墨舟分成多个子石墨舟；S02、将射频电源的输出端分成多组独立的与各子石墨舟一一对应连接的子输出端；S03、射频电源的时间周期不变，根据射频电源的工作波形及子石墨舟的个数，调整输出功率的时间段及次数；S04、在射频电源的同一个时间周期内，各子输出端在不同时间段按序输出功率至对应的子石墨舟。本发明还公开了一种管式PECVD设备，包括射频电源、石墨舟和转换单元，石墨舟包括多个子石墨舟；转换单元的输入端与射频电源的输出端相连，多组输出端分别与各子石墨舟相连。本发明的方法及设备均具有成本低等优点。 专利申请的撤回
一种管式直接PECVD制备太阳电池SiC减反射膜的方法 CN201910962753.3 2021-07-16 本发明公开了一种管式直接PECVD制备太阳电池SiC减反射膜的方法，包括以下步骤：对硅片进行制绒，所得硅片于管式PECVD设备炉管中沉积SiC减反射膜；冷却，取出硅片，完成对SiC减反射膜的制备。本发明方法通过利用管式PECVD设备并改良工艺步骤和工艺参数，在无需改变设备的条件下，可以兼容现有的产线设备实现SiC减反射膜的沉积，不仅有利于提高旧产线或旧设备的利用率，具有量产门槛低的优点，同时还具有工设备投资成本低、制备成本低等优点，且由此制得的SiC减反射膜表现出较好的性能，如较低的吸光率、较高的电导率，从而有利于制备得到高光电转换效率的太阳电池，对于实现太阳电池的广泛应用具有十分重要的意义。 专利权的授权