专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
基于线性蒸发器真空镀膜单体机 CN201711338221.X - 本发明公开了基于线性蒸发器真空镀膜单体机，包括一镀膜区、一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于镀膜区两侧，所述蒸发器和基片平行的对立设置于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。本发明提供的基于线性蒸发器真空镀膜单体机利用三步共蒸发工艺制备铜铟镓硒薄膜，采用基于线型蒸发器的立式共蒸发系统来实现制备尺寸不小于40×60cm2的铜铟镓硒薄膜，实现二维尺度上大面积薄膜的均匀生长。 专利申请的驳回
手机玻璃盖板金属标志真空镀膜生产线 CN201711342051.2 - 本发明公开了手机玻璃盖板金属标志真空镀膜生产线，包括依次连接的进口加热室、清洁室、第一高真空缓冲室、第一溅射过渡室、溅射室、第二溅射过渡室、第二高真空缓冲室和出口室，所述溅射室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置，所述旋转阴极装置与一角度调节装置连接，所述角度调节装置通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。与现有技术相比，本发明提供的手机玻璃盖板金属标志真空镀膜生产线通过调节阴极装置的溅射角度，从而增加靶材刻蚀区域，提高靶材利用率，以克服现有技术中阴极装置的轰击轨道固定这一缺陷。 专利申请的驳回
用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置 CN201711336517.8 - 本发明公开一种用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置，包括旋转组件、传送组件和支撑组件，所述旋转组件包括旋转电机、旋转架，所述旋转电机安装于镀膜生产线工艺室底板的下方，所述旋转架位于底板的上方，所述旋转电机与旋转架固定连接，并驱动旋转架转动；所述传送组件包括多个传动轮，所述传动轮分别安装于旋转架的两侧；所述支撑组件包括支撑架，所述支撑架固定于旋转架上；玻璃基片的基片架设有两个，分别位于支撑架的两侧，所述基片架夹紧于支撑架和传动轮之间，所述基片架通过传动轮的滚动进行移动。本发明的用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置，能够进行旋转翻面，自动化程度高，工艺程序连贯，提高了产品的良率。 专利申请的驳回
玻璃减薄镀膜方法及设备 CN201711336600.5 - 本发明公开一种玻璃减薄镀膜方法，先将基片固定在基片架上，将基片架送入进口室，密封后进行低真空抽气；再将基片架送入进口缓冲室，进行高真空抽气；然后基片架送入进口传送室，在高真空下对基片进行预热；基片架送入工艺室，进行镀膜处理，镀膜时对基片进行加热，基片温度为150～250℃；镀膜后的基片送出。本发明还公开一种玻璃减薄镀膜设备，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室，所述设备还包括真空泵，所述真空泵为分子泵，所述分子泵安装于门板上；进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室都设有加热装置。 专利申请的驳回
手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线 CN201711342329.6 - 本发明公开了手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线，包括依次连接的进口加热室、清洁室、第一高真空缓冲室、第一溅射过渡室、溅射室、第二溅射过渡室、第二高真空缓冲室和出口室，所述溅射室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置和/或平面阴极装置，所述旋转阴极装置和/或平面阴极装置与一角度调节装置连接，所述角度调节装置通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。与现有技术相比，本发明提供的手机盖板颜色膜卧式镀膜生产线通过调节阴极装置的溅射角度，从而增加靶材刻蚀区域，提高靶材利用率，以克服现有技术中阴极装置的轰击轨道固定这一缺陷。 专利申请的驳回
TFT-LCD玻璃基板双面镀膜生产线 CN201711336507.4 - 本发明公开一种TFT‑LCD玻璃基板双面镀膜生产线，包括依次进口室、酸洗室、溅镀室和旋转室，以及与酸洗室连接的水洗室；溅镀室与旋转室连接，所述旋转室包括传送仓和旋转仓，所述旋转仓包括旋转组件、传送组件和支撑组件，玻璃基片安装于基片架上，所述传送组件和支撑组件安装于旋转组件上，所述旋转组件带动传送组件和支撑组件转动，所述基片架通过传送仓送至支撑组件，所述旋转组件带动支撑组件和基片架转动，转向后的基片架通过传送仓返回溅镀室。本发明的TFT‑LCD玻璃基板双面镀膜生产线，能够进行旋转翻面，自动化程度高，工艺程序连贯，提高了产品的良率。 专利申请的驳回
薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线 CN201711337310.2 - 本发明公开了薄膜太阳能电池前电极连续式磁控溅射单面镀膜生产线，包括放卷室、进口室、进口缓冲室、蒸镀室、出口缓冲室、出口室和收卷室，主驱动辊设于放卷室和收卷室内，多个传动辊设于子线各腔室内；所述蒸镀室内设有若干蒸镀区，每一蒸镀区均设有一蒸发器和两加热器，所述加热器分别立设于蒸镀区两对面，待蒸镀基片随传动辊传动于两加热器之间，所述蒸发器包括一顶面设置喷嘴的壳体，所述壳体中部设有缓冲部，所述缓冲部远离喷嘴的一面连接有与蒸镀原材料室相连的加热管道，所述加热管道向喷嘴方向延伸。本发明提供的镀膜生产线能够实现各类大面积镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强。 专利申请的驳回
用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置 CN201711336659.4 - 本发明公开一种用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置，包括旋转组件、传送组件和支撑组件，所述旋转组件包括旋转电机、旋转架，所述旋转电机安装于镀膜生产线工艺室底板的下方，所述旋转架位于底板的上方，所述旋转电机与旋转架固定连接，并驱动旋转架转动；所述传送组件包括多个传动轮，所述传动轮分别安装于旋转架的两侧；所述支撑组件包括支撑架，所述支撑架固定于旋转架上；玻璃基片的基片架设有两个，分别位于支撑架的两侧，所述基片架夹紧于支撑架和传动轮之间，所述基片架通过传动轮的滚动进行移动。本发明的用于双面玻璃镀膜的传送旋转装置，能够进行旋转翻面，自动化程度高，工艺程序连贯，提高了产品的良率。 专利申请的驳回
片状基片智能装载的连续镀膜生产系统 CN201711339885.8 - 本发明公开了一种片状基片智能装载的连续镀膜生产系统。其至少包括：相连的一传送流水线和一镀膜流水线，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括依次连通且首尾相连的进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，片状基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出。 专利申请的撤回
汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线 CN201711342045.7 - 本发明公开了汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线，包括进料段和出料段，所述进料段由前向后依次连接一组初真空室、低真空室、中真空室和高真空室，所述出料段有钱向后依次连接另一组高真空室、中真空室、低真空室和初真空室，所述溅射室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一旋转阴极装置，所述旋转阴极装置与一角度调节装置连接，所述角度调节装置通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。本发明提供的汽车玻璃立式复合膜系连续磁控溅射生产线能够实现各类镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强，特别适合大规模工业化生产。 专利申请的驳回