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一种N型太阳能电池硼扩散SE结构的制备方法 CN202211303546.5 - 本发明公开了一种N型太阳能电池硼扩散SE结构的制备方法，包括以下步骤：在硅基体表面制备氧化层、硼掺杂、退火，形成多晶硅层；在多晶硅层表面预设栅线区域制备掩膜；去除硅基体表面非栅线区域的多晶硅层和氧化层；去除掩膜，得到N型太阳能电池硼扩散SE结构。与常规制备方法相比，本发明N型太阳能电池硼扩散SE结构的制备方法，仅需一次高温退火过程，对硅基体所造成的损失较小，具有工艺简单、操作方便、成本较低、损伤小等优点，不仅有利于提升电池的光电转化效率，而且有利于实现规模化生产，使用价值高，应用前景好。 实质审查
一种PECVD反应室电极杆 CN202211078949.4 - 本发明公开了一种PECVD反应室电极杆，包括接线杆、连接杆、内绝缘座、外绝缘座、锁紧筒、压紧组件和电极法兰；内绝缘座和外绝缘座套设在连接杆上，外锁紧筒套设于接线杆和外绝缘座上，锁紧筒与轴环外侧相抵，锁紧筒的另一端通过压紧组件压紧在外绝缘座上，连接杆的一端设置有与螺纹孔相连通的第一限位槽，第一限位槽内设置有限位板，接线杆的一端设置有第二限位槽，当接线杆的一端螺纹连接至连接杆的螺纹孔后，限位板卡设于第一限位槽和第二限位槽内，以对接线杆与连接杆之间的轴向运动进行限位；锁紧筒中间为方形孔，接线杆于轴环的一侧设置有方形轴肩，轴肩穿设在锁紧筒的方形孔内。本发明具有结构简单、改造简便、连接可靠等优点。 实质审查
一种带辅助加热装置的PECVD及加热控制方法 CN202211043548.5 - 本发明公开了一种带辅助加热装置的PECVD，包括炉体，炉体包括炉壳以及设置在炉壳内的保温层、主加热组件、石英管，主加热组件绕设在石英管外壁，还包括辅助加热组件，辅助加热组件包括至少两块辅助加热板，辅助加热板分别布置在主加热组件的上方和下方。本发明还公开了一种加热控制方法。本发明具有加热均匀性更好、控温精度更高、安装维护便捷、加热板布置更灵活、能有效改善镀膜均匀性等优点。 实质审查
一种用于石英舟进出炉体的小车及石英舟进出炉体的方法 CN202210873819.3 - 本发明公开了一种用于石英舟进出炉体的小车及石英舟进出炉体的方法，小车包括：车架，以安装在车架上的传动托盘、传动组件和脚轮，所述传动托盘用于承载石英舟，并带动石英舟进出炉体；所述传动组件用于承载传动托盘，并提供传动托盘进出炉体所需的驱动力，以实现传动托盘带动石英舟自动进出炉体；所述脚轮用于实现小车移动。本发明具有结构紧凑、操作简单、传动可靠且定位精准等优点，降低了管式炉体设备生产成本及维护费用，实现了石英舟平稳可靠地进出管式炉体，提高了电池片的生产效率。 实质审查
一种旋转阴极及靶基距在线调节方法 CN202210840044.X - 本发明公开了一种旋转阴极及靶基距在线调节方法，旋转阴极包括：阴极腔底板、靶材、传动模组、第一端头和第二端头；所述传动模组安装在阴极腔底板上，且穿过阴极腔底板伸入真空腔体内；所述靶材位于在真空腔体内，靶材的两端分别通过第一端头和第二端头与传动模组连接；在传动模组的带动下，靶材在真空腔体内沿竖直方向进行往复升降运动。本发明在上述旋转阴极的基础上实现了靶基距的在线调节。本发明具有结构紧凑、操作简单、调节精准且密封性好等优点，靶基距的调节过程无需将镀膜设备由真空状态恢复至常压状态，且对操作人员的专业技能要求较低。 专利申请的驳回
一种实现硅片批量搬运到载板内的搬运装置和方法 CN202210783582.X - 本发明公开了一种实现硅片批量搬运到载板内的搬运装置及方法，此装置包括控制单元、机械手、多目视觉单元、硅片传输线、载板输送线、载板和多个微动平台组件；机械手、硅片传输线、载板输送线和微动平台组件依次上下布置；载板位于载板输送线上且设置有多个网框沉台；机械手用于将硅片传输线上的批量硅片转移至各微动平台组件上；各微动平台组件位于网框沉台的下方；多目视觉单元，用于检测微动平台组件上硅片的位置信息和载板上对应网框沉台的位置信息；控制单元根据硅片的位置信息和对应网框沉台的位置信息，调整微动平台组件的动作，以使微动平台组件上的硅片位置与对应网框沉台的位置相对应。本发明具有装载效率高、定位精度高等优点。 实质审查
一种PECVD设备石墨舟清洗系统 CN202210783572.6 - 本发明公开了一种PECVD设备石墨舟清洗系统，包括真空腔室、放电单元和气体导入单元，所述气体导入单元与真空腔室相连通，用于向所述真空腔室内充入工艺气体，所述放电单元安装于所述真空腔室上，用于对工艺气体进行电离来产生等离子体。本发明具有成本低、占地面积小、环保且能提高石墨舟使用寿命等优点。 实质审查
一种平板式PECVD设备 CN202210783561.8 2023-08-04 本发明公开了一种平板式PECVD设备，包括反应腔室、阴极面板、顶升机构和衬底，所述衬底位于所述顶升机构上，所述顶升机构和所述衬底均位于所述反应腔室内，所述阴极面板内置于所述反应腔室内并作为反应腔室的腔盖与反应腔室组成真成环境，所述阴极面板与衬底之间形成平行放电基板，所述阴极面板的侧壁与反应腔室之间设置有绝缘组件，用于避免阴极面板的侧壁与反应腔室的侧壁放电打火。本发明具有结构简单、降低成本、生产效率高、延长寿命等优点。 专利权的授权
一种太阳能电池的制备方法 CN202210764251.1 - 本发明公开了一种太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、在正面生长隧穿氧化层、依次沉积磷掺杂非晶硅薄膜和掩膜、对非金属化区域进行开窗处理、对开窗区域进行制绒、磷扩散和退火处理、背面刻蚀和正面清洗。本发明太阳能电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，由此制得的太阳能电池具有更好的效率，与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，即可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。 实质审查
一种PERC电池的制备方法 CN202210764248.X 2024-11-26 本发明公开了一种PERC电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、生长磷掺杂氧化层、对金属化区域进行开窗处理、对激光开窗区域进行制绒和化学氧化处理、在P型硅片正面生长磷掺杂非晶硅薄膜、退火处理、对非金属化区域进行开窗处理、去除非金属化区域的掩膜。本发明PERC电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，且由此制得的PERC电池具有更好的效率，同时本发明制备方法与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，因而可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。 授权