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一种叠舟装置、包含其的立式炉及石英舟搬运控制方法 CN202210720386.8 - 本发明公开了一种立式炉的叠舟装置，包括：安装底板、隔热挡板、抓手组件和驱动组件；所述安装底板设置在隔热挡板顶部，用于实现叠舟装置安装固定；所述隔热挡板内部设有驱动组件，两组所述抓手组件对称安装在隔热挡板侧部，且驱动组件与抓手组件传动连接，在驱动组件的驱动下，两组抓手组件相互靠近或相互远离，以实现夹持堆叠石英舟或松开石英舟。本发明还公开了包含上述叠舟装置的立式炉以及石英舟搬运控制方法。本发明具有结构紧凑、操作简单、运行可靠等优点，通过叠舟装置的设计，在增加产能的情况下，只需增加恒温区和石英舟放置区的长度，减少了石英舟的取放空间，降低了设备整体的高度，节省了生产成本。 实质审查
一种用于提高多晶硅层钝化效果的水汽退火工艺 CN202210680729.2 2024-09-03 本发明公开了一种用于提高多晶硅层钝化效果的水汽退火设备及水汽退火工艺，该水汽退火设备包括用于放置待处理退火样品的腔体，腔体上连通有第一进气管道、尾气排出管道和第二进气管道，位于腔体内部的第二进气管道上设有若干个水汽喷出口，位于腔体外部的第二进气管道连通有用于生产水汽的生产装置。该水汽退火工艺包括对硅片进行高温晶化，通入水汽进行水汽退火处理。本发明水汽退火设备及水汽退火工艺，既可以精确控制低比例水汽进入量，又能保证水汽在腔体内均匀分布，适用于补充并增加多晶硅中的氢含量，以及在提高水汽退火均匀性的同时也能降低水汽对多晶硅层的氧化，有利于提高多晶硅层的钝化效果，适用于制备高性能的晶硅太阳能电池。 专利权的授权
一种去除ALD绕镀氧化铝的PECVD镀膜方法 CN202210614145.5 2024-06-25 本发明公开了一种去除ALD绕镀氧化铝的PECVD镀膜方法，包括以下步骤：S1、进舟，将装载硅片的载具通过推舟运动机构送入反应腔体；S2、抽真空，将反应腔体内抽至真空状态；S3、第一次恒温，控制反应腔体温度恒定；S4、检漏，监测反应腔体内的压力变化情况，以符合工艺所预设的漏率；S5、第一次沉积，进行第一次硅片沉积；S6、第二次沉积，进行第二次硅片沉积；S7、回常压，将反应腔体恢复常压；S8、出舟。本发明具有操作简单、无需增加额外工序、ALD绕镀氧化铝去除效果显著且有利于氢体钝化等优点。 专利权的授权
一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池 CN202210297222.9 2024-10-01 本发明公开了一种提升钝化接触结构性能的低温氢等离子体辅助退火方法和TOPCon太阳能电池，该退火方法是以氢气或含氢气的混合气体为工艺气体，对制备有钝化接触结构的硅片进行退火处理。本发明中，在高温烧结之后，通过在氢等离子体下进行退火处理，既可以通过低温退火修复晶界缺陷和杂质，还可以通过引入H等离子体使得薄膜界面和晶体内部晶界处的悬挂键饱和，减少界面和晶界处的载流子复合，从而达到很好的钝化效果，进而有利于提升太阳能电池的光电转换效率。本发明低温氢等离子体辅助退火方法，具有易于批量处理、运营成本低等优点，可广泛用于提升钝化接触结构的钝化性能，对于提升TOPCon太阳能电池的产能具有十分重要的意义。 专利权的授权
一种管式PECVD制备超薄氧化硅层及钝化接触结构的方法、钝化接触结构 CN202210066237.4 2024-04-30 本发明公开了一种管式PECVD制备超薄氧化硅层及钝化接触结构的方法、钝化接触结构，该超薄氧化硅层的制备是以N2O和Ar的混合气体，N2O和He的混合气体，N2O、Ar和He的混合气体或N2O、Ar和CO2的混合气体为工艺气体，利用管式PECVD制备超薄氧化硅层。钝化接触结构包括制备超薄氧化硅层和掺杂非晶硅层。本发明制备的超薄氧化硅层具有高质量、均匀性好等优点，可以与掺杂多晶硅层的完美匹配，有利于提高硅片的钝化效果，进而有利于大幅提升太阳能电池的良率和效率，同时本发明方法还具有工艺时间短、沉积速率可控等优势，适合于大规模制备超薄氧化硅层/掺杂多晶硅层钝化接触结构，利于工业化应用。 专利权的授权
一种用于立式炉的自动上下料系统及立式炉体 CN202210034360.8 - 本发明公开了一种用于立式炉的自动上下料系统，包括石英舟取放装置、翻舟装置、硅片顶升装置、整片装置、插取片机械手和硅片上下料传输装置；石英舟取放装置用于带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置之间转移；翻舟装置用于实现石英舟在立式状态和卧式状态之间进行变换；硅片顶升装置用于带动硅片做升降运动；整片装置用于实现硅片的对中；插取片机械手用于带动硅片在硅片上下料传输装置和硅片顶升装置之间进行转移；硅片上下料传输装置用于实现硅片从花篮取出并传输至插取片机械手的取片位。本发明还公开了一种立体炉体，包括如上所述自动上下料系统。本发明具有结构紧凑、占地空间小、取片精度高、自动化程度高、稳定性高等优点。 实质审查
一种高产能立式炉 CN202210017759.5 - 本发明公开了一种高产能立式炉，包括炉体、供气系统、真空系统、竖直装载机构及安装于炉体内的内部加热部件、工艺管、载具舟、隔热支撑组件；所述炉体为立式炉结构，所述炉体上设置有炉门组件，所述竖直装载机构用来连接炉门组件，用来实现炉门组件中炉门的开启、关闭和密封；所述载具舟置于隔热支撑组件上；所述供气系统用来为炉体内提供设备工艺过程所需要气体；所述真空系统用来为炉体内提供真空气氛；所述载具舟为两组以上，用于放置载片。本发明具有原理简单、操作简便、能提高设备生产产能并提升电池片良率等优点。 实质审查
一种石英管的安装装置及安装方法 CN202210018989.3 2023-11-28 本发明公开了一种石英管的安装装置，包括安装底座、支架和至少两个滑动机构，安装底座布置在支架的下方，滑动机构对称布置在支架上，滑动机构用于支撑并实现石英管沿所述支架移动。本发明还公开了一种石英管的安装方法，采用了如上所述的安装装置对石英管进行安装。本发明具有成本低、安装省时省力、劳动强度低等优点，能安全可靠地将石英管安装至炉体内。 专利权的授权
一种高效太阳能电池用大产能炉管式ICP-CVD装置 CN202111678753.4 - 本发明公开了高效太阳能电池用大产能炉管式ICP‑CVD装置，包括反应腔体、载板、电感线圈和加热炉管，多个载板在反应腔体内平行布置，两两之间相隔一定距离，载板两面均可装载工件；电感线圈套在反应腔体外部，与腔体同轴并与腔体之间有一定间隙；加热炉管套在电感线圈外，与电感线圈及反应腔体同轴。本发明电感线圈内通入高频电源，激发反应腔内气体形成等离子体。等离子体放电与载板形状、位置等因素无关，载板结构和布局不再受限制，可采用多个载板叠加，两个载板的间距可以做的很小。反应腔体及加热炉管可上下多层布局，向空中发展，使整个设备占地面积小，单位占地面积内的产能大；电感线圈位于反应腔体外不会出现电极引入处放电问题。 实质审查
一种硅片取放装置及取放方法 CN202111678593.3 2023-08-08 本发明公开了一种硅片取放装置及取放方法。装置包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，旋转驱动组件用于驱动第二吸盘组件旋转以使第二吸盘吸取的硅片与第一吸盘吸取的硅片背对背布置，直线移动模组设于安装支架上并用于驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动以使第一吸盘吸取的硅片和第二吸盘吸取的硅片相互交叉，叠合驱动组件用于驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。该硅片取放装置及取放方法具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点。 专利权的授权