专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
用于生长氧化铝/氧化硅和非晶硅薄膜的连续式生产设备 CN202110831159.8 - 本发明公开了一种用于生长氧化铝/氧化硅和非晶硅薄膜的连续式生产设备，由平板式PEALD功能模块与射频/微波PECVD功能模块合并构成，该设备包括硅片传输机构和沿传输方向依次设置的上料腔、第一预热腔、原子层沉积工艺腔、第一缓存腔、过渡腔、第二预热腔、化学气相沉积工艺腔和下料腔，第二缓存腔、下料腔。相邻腔室之间均设有真空隔离阀，上料腔、第一预热腔、原子层沉积工艺腔、第一缓存腔构成平板式PEALD功能模块，过渡腔、第二预热腔、化学气相沉积工艺腔、第二缓存腔、下料腔构成PECVD功能模块。本发明将平板式PEALD功能模块和射频/微波PECVD功能模块二者合并在一台设备上、可以满足两种薄膜的生长要求。 实质审查
一种低压扩散匹配激光SE的扩散工艺 CN202110302723.7 2023-06-30 本发明公开了一种低压扩散匹配激光SE的扩散工艺，包括以下步骤：低浓度氧化；高浓度杂质源扩散氧化沉积，使硅片表面杂质源总量大于PN结深所需的杂质源总量；高浓度杂质源升温扩散氧化沉积，使硅片表面杂质源总量大于PN结深所需的杂质源总量；升温推进；升温氧化，对杂质源进行快速增强氧化，直至硅片表面杂质源总量与PN结深所需的杂质源总量相同。本发明低压扩散匹配激光SE的扩散工艺，在不影响生产产能前提下，提高PN结深的一致性和扩散方阻的均匀性和稳定性，有利于提高池转换效率，使用价值高，应用前景好。 专利权的授权
一种微波等离子体刻蚀装置及方法 CN202110133205.7 2022-07-19 本发明公开了一种微波等离子体刻蚀装置，包括：真空反应腔室、耦合窗、屏蔽罩和微波传导组件；耦合窗的一侧与真空反应腔室密封连接，耦合窗的另一侧与屏蔽罩密封连接；微波传导组件包括长度可调的同轴天线，同轴天线伸入屏蔽罩内，且同轴天线在屏蔽罩内的长度大于或等于真空反应腔室中刻蚀基体的总高度；通过同轴天线传输微波，以激发真空反应腔室内的反应气体转化为活性等离子体，实现对刻蚀基体的刻蚀。本发明的微波等离子体刻蚀装置具有结构紧凑、等离子体浓度高、设备产能高等优点。同时，本发明还公开了利用上述微波等离子体刻蚀装置进行刻蚀的方法，大大提高了待刻蚀基体的刻蚀效率，并且保证了刻蚀质量。 专利权的授权
一种内置式平板型共轭离子源及真空镀膜装置 CN202110139372.2 2023-03-28 本发明公开了一种内置式平板型共轭离子源，包括：输气组件和结构相同且成对设置的两个电极组件。输气组件与电极组件连接，电极组件安装在真空腔室内。电极组件包括气体腔和电极柱，电极柱的一端与电源组件连接，另一端与气体腔连接；气体腔底部设有气体喷淋板，气体腔和电极柱的侧部由内向外依次设有绝缘板、屏蔽罩和磁铁。在电源组件的作用下，两个电极组件成为相反电位的共轭放电组件，从两个电极组件的气体喷淋板喷出的工艺气体在真空腔室内实现电离。本发明的离子源具有结构紧凑、放电容易、气体扩散均匀等优点。本发明还公开了包含上述离子源的真空镀膜装置，实现了工件的连续均匀镀膜，提高了镀膜产能且满足了不同厚度的镀膜需求。 专利权的授权
一种基于双层透明导电氧化物薄膜的HJT电池及其制备方法 CN202110119419.9 - 本发明公开了一种基于双层透明导电氧化物薄膜的HJT电池及其制备方法，该制备方法包括在N型硅片的受光面和背光面分别依次制备本征非晶硅层、N型掺杂非晶硅层和P型掺杂非晶硅层、第一透明导电氧化物层、第二透明导电氧化物层和金属栅线电极。本发明中，在磁控溅射工艺中增加的辅助阳极能够改变磁控溅射系统的电磁场，提升氩气的电离效率以及系统的等离子密度，获得导电性好的透明导电氧化物薄膜，而且也能够吸收杂散电子，减少基片的温升和溅射损伤，因而有利于提高电池的良品率和制备效率，最终得到低成本、高转换效率的HJT电池。本发明制备方法，可在同一台磁控溅射设备的不同腔体中完成，电池的良品率和制备效率进一步提高。 专利申请的驳回
一种可调触发板及其控制方法 CN202011640922.0 2022-08-12 本发明公开了一种可调触发板及其控制方法，此可调触发板具体包括电源单元和集成应用电路单元，集成应用电路单元的输入端与电源单元的输出端相连；电源单元包括直流稳压源电路和RC串并联电路，RC串并联电路包括可调电阻R01、电阻R02和电容C2，可调电阻R01的一端与直流稳压源电路的一输出端相连，可调电阻R01的另一端与电容C2的一端相连，电容C2的另一端则与直流稳压源电路的另一输出端相连，电阻R02的一端与可调电阻R01的另一端相连，另一端则与地相连；集成应用电路单元包括一路以上的集成应用电路，当集成应用电路为多路时，多路集成应用电路相互并联。本发明具有电压及输出电流可调、安全可靠、操作简便且易于实现等优点。 专利权的授权
一种移动货架用定位耦合装置、移动货架及传料系统 CN202011480356.1 - 本发明公开了一种移动货架用定位耦合装置，包括机架，第一电极和定位机构，第一电极、定位机构设置在机架上，定位机构包括安装板、定位导向组件和牵引组件，定位导向组件和牵引组件设置在安装板上，定位导向组件至少为2个，定位导向组件对称布置在牵引组件的两侧，牵引组件包括水平驱动机构、垂直驱动机构、移动推板、牵引板和滑动组件，移动推板通过滑动组件与安装板相连，牵引板与移动推板相连，水平驱动机构用于驱动移动推板沿水平方向前后移动，垂直驱动机构用于驱动牵引板沿垂直方向作升降运动。本发明还提供了一种移动货架及传料系统。本发明具有成本低、定位方式简单可靠、稳定性好、安装调试方便等优点。   专利申请的撤回
一种制备氧化硅薄膜的方法 CN202011452948.2 - 本发明公开了一种制备氧化硅薄膜的方法，该方法是利用等离子体增强原子层沉积在衬底表面制备氧化硅薄膜，包括以下步骤：将衬底置于反应腔体内，抽真空，加热；将氧等离子体与硅源喷向衬底表面，在喷淋过程中氧等离子体与硅源在硅片表面发生反应生成氧化硅，得到氧化硅薄膜。本发明制备氧化硅薄膜的方法，能够制备得到致密性高、厚度均匀可控的氧化硅薄膜，可广泛应用于光伏、半导体等领域，同时还具有工艺简单、操作方便、沉积速率快等优点，适合于氧化硅薄膜的大规模制备，利于工业化应用。 专利申请的驳回
一种自动缠绕包装设备 CN202011184074.7 2022-04-19 本发明公开了一种自动缠绕包装设备，包括机架、立架、产品旋转装置、压合装置、切断装置、拉扯装置和顶出装置，产品旋转装置用于驱动被包装的产品旋转，顶出装置用于将包装后的产品顶出，压合装置包括压合升降模组、安装面板、包材转盘、包材导向件、包材压手和压手升降驱动，安装面板设于压合升降模组上，包装材料卷设在包材转盘上，包材导向件用于对包装材料进行定位，压手升降驱动用于驱动包材压手将包装材料压在包材导向件上，拉扯装置包括拉扯夹爪和驱动拉扯夹爪移动的拉扯移动模组，拉扯夹爪可夹住并拉扯出符合包装长度要求的包装材料，切断装置用于切断包装材料。本发明自动化程度高、能适应不用形状的异形产品的缠绕包装。 专利权的授权
一种太阳能电池整厂智能制造控制系统 CN202011124021.6 2022-12-16 本发明公开了一种太阳能电池整厂智能制造控制系统，包括控制单元、AGV单元和多个控制站点，各控制站点分别对应不同的工艺段，分别为制绒控制站点、退火控制站点、二次清洗控制站点、扩散控制站点、码雅控制站点、PECVD控制站点和丝印控制站点；各控制站点均为独立的控制站点且独立供电，各控制站点之间相互链接且均与控制单元相连以形成环网；所述AGV单元接入所述环网，所述控制单元控制所述AGV单元中的AGV小车在各工艺段之间进行取料和送料作业。本发明具有自动化智能化程度高、生产效率高、安全可靠等优点。 专利权的授权