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用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置 CN202110974429.0 - 本发明公开一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置包括安装框，所述安装框内具有放置腔，所述放置腔内设置有至少一个安装滚筒，所述安装滚筒呈中空，所述安装滚筒的外表面和内表面均用于固定工件，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括多个万向轮，多个所述万向轮均设置在所述安装框的底部。本发明提供的用于真空磁控溅射镀膜机能够十分方便工件的转运，进而提升效率。 专利申请的驳回
立式长管镀膜设备 CN202110975682.8 2023-02-28 本发明公开一种立式长管镀膜设备，立式长管镀膜设备包括真空壳体、第一靶架、第二靶架、第三靶架以及工件架，真空壳体上开设有第一舱门、第二舱门以及第三舱门，第一舱门和第二舱门相对设置，真空壳体的内部具有真空腔，第一靶架和第二靶架分别设于第一舱门和第二舱门两侧且第一靶架和第二靶架能够分别沿靠近真空壳体的方向移动以封闭第一靶门和第二靶门，第一靶架和第二靶架上均设置有溅射阴极，工件架设置在第三靶架内，工件架上承载有管状工件，第三靶架能够将工件架通过第三舱门进入真空腔内。本发明公开的立式长管镀膜设备能够有效提高管状工件的镀膜效率。 专利权的授权
磁控溅射镀膜装置 CN202011236269.1 2022-10-18 本发明公开一种磁控溅射镀膜装置，磁控溅射镀膜装置包括壳体、设置于所述壳体顶部的真空组件、设置于所述壳体外侧壁的多个溅射阴极，所述壳体内部开设有用于容纳承载有工件的承载架的镀膜腔体，所述真空组件与所述镀膜腔体连通以抽取所述镀膜腔体的气体，多个所述溅射阴极绕所述壳体的外周壁均匀间隔布置，以均匀地对位于所述镀膜腔体的工件的外壁面镀膜，所述镀膜腔体的底壁和顶壁上分别设置有第一固定组件以及第二固定组件，所述第一固定组件和所述第二固定组件相对设置，所述第一固定组件和所述第二固定组件用于将流转至所述镀膜腔体内的所述承载架进行固定。本发明提供的磁控溅射镀膜装置解决了现有承载架悬空使用而导致镀膜质量下降的问题。 专利权的授权
用于双室磁控镀膜机的前处理室 CN202011236500.7 2023-05-16 本发明公开一种用于双室磁控镀膜机的前处理室，用于双室磁控镀膜机的前处理室包括呈矩形的前处理仓，所述前处理仓具有用于容置承载有工件的承载架的处理腔室，所述前处理室能够与镀膜室连通，在所述处理腔室的内部设有四个加热组件，四个所述加热组件分设在所述处理腔室的四个角部。本发明提供的用于双室磁控镀膜机的前处理室有效提高了工件的镀膜效率及镀膜效果。 专利权的授权
用于磁控溅射镀膜机的承载装置 CN202011189378.2 - 本发明公开一种用于磁控溅射镀膜机的承载装置，用于磁控溅射镀膜机的承载装置包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。本发明提供的用于磁控溅射镀膜机的承载装置提高了工件的镀膜效率。   专利申请的驳回
双室高效镀膜机 CN202011191560.1 - 本发明公开一种双室高效镀膜机，双室高效镀膜机包括运输台以及镀膜系统，所述运输台与所述镀膜系统相连通，所述镀膜系统包括第一处理室以及第二处理室，所述第一处理室与所述运输台连通，所述运输台用于承载工件并将所述工件传输至所述第一处理室中，所述第一处理室远离所述运输台的一侧与所述第二处理室相连通，所述第一处理室用于对所述工件进行前处理并将所述工件传输至第二处理室中进行镀膜。本发明提供了一种镀膜效率高的双室高效镀膜机。   专利申请的驳回
多工位双室镀膜机 CN202011194000.1 - 本发明公开一种多工位双室镀膜机，多工位双室镀膜机包括第一工件台、第二工件台、流转台、处理室、镀膜室以及多个承载架，所述第二工件台与所述第一工件台的一侧连通，所述第一工件台的另一侧与所述流转台的一侧连通，所述流转台的另一侧与所述处理室连通，所述处理室远离所述流转台的一侧与所述镀膜室连通，所述承载架用于承载工件并在所述多工位双室镀膜机内流转，所述流转台用于将承载架输入至所述处理室中对工件进行处理，所述处理室用于在对所述工件进行处理后输入至镀膜室内进行镀膜。本发明提供了一种能够多工位上下料的镀膜机。   实质审查
便于工件流转的镀膜机 CN202011188410.5 - 本发明公开一种便于工件流转的镀膜机，便于工件流转的镀膜机包括第一流转平台、第一处理室、镀膜室、第二处理室、第二流转平台以及多个承载架，所述镀膜室的两侧分别与所述第一处理室和所述第二处理室连通，所述第一处理室远离所述镀膜室的一侧与所述第一流转平台连通，所述第二处理室远离所述镀膜室的一侧与所述第二流转平台连通，所述承载架用于承载工件在所述镀膜机内流转。本发明提供了一种方便工件流转从而提升工件镀膜效率的镀膜机。   专利申请的驳回
应用于板式工件的镀膜系统 CN202011189975.5 - 本发明公开一种应用于板式工件的镀膜系统，应用于板式工件的镀膜系统包括依次连通的上料台、第一前处理室、镀膜室、第一后处理室以及下料台，所述上料台上设置托盘，所述托盘用于承载基板，所述上料台用于将所述托盘送入所述第一前处理室内，所述下料台用于接受来自于所述第一后处理室流出并卸下所述基板的托盘，所述下料台与所述上料台连通。本发明提供了一种能够方便地对板式工件进行镀膜的镀膜系统。   专利申请的驳回
管状工件镀膜机 CN202011187817.6 - 本发明公开一种管状工件镀膜机，管状工件镀膜机包括内部具有镀膜腔的镀膜仓、滑动设置在所述镀膜腔内的工件架以及与所述工件架连接以驱动所述工件架沿所述镀膜仓的长度方向滑动的第一驱动电机，所述工件架上承载有至少一管状工件，沿所述镀膜仓的长度方向上间隔设置有多个阴极，所述管状工件镀膜机还包括设置在所述镀膜腔内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述工件架连接以驱动所述工件架饶其自身轴线旋转。本发明提供了一种适用于管状工件的镀膜机。   专利申请的驳回