- 专利标题 公开号/公告号 公开日期 摘要 专利状态
- 基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法 CN202010467764.7 2021-12-24 本发明公开了一种基于镀膜检测的PECVD表面镀膜的上下料方法，包括石墨舟就位、石墨舟上缓存架、进舟前镀膜检测、石墨舟进反应室、石墨舟出反应室、取片前镀膜检测、石墨舟返回插取片机等步骤。本发明在缓存架上设置检测石墨舟是否有无镀膜的装置，增加两步是否镀膜检测步骤，其一为机械手根据检测结果直接抓取缓存架上无镀膜的石墨舟放入推舟机构上，然后由推舟机构送入反应室内镀膜，可避免出现反应室内出现二次镀膜，其二为机械手根据检测结果抓取缓存架上有镀膜的石墨舟放在传送机构上，由传送机构送入插取片机进行取片，避免没有进行镀膜的硅片流入下一道工序，确保每一舟硅片完成镀膜，而且没有重复镀膜，保证了生产流程的顺畅。 专利权的授权
- 一种PECVD表面镀膜的上下料方法 CN202010467836.8 2022-05-03 本发明公开了一种PECVD表面镀膜的上下料方法，包括石墨舟就位、石墨舟上缓存架、石墨舟上推舟机构、进舟前镀膜检测、石墨舟进反应室、石墨舟出反应室、石墨舟上传送机构、取片前镀膜检测、石墨舟返回插取片机等步骤。本发明在石墨舟的必经之路上增加两步是否镀膜检测步骤，其一用于检测推舟机构上即将进入反应室内的石墨舟内硅片是否已经进行镀膜，避免出现反应室内出现二次镀膜，其二是用于检测传送机构上将要进入插取片机的硅片是否的镀膜，避免没有进行镀膜的硅片流入下一道工序，从而确保每一舟硅片完成镀膜，而且没有重复镀膜，保证了生产流程的顺畅，硅片的效率更加稳定，提升了电池片的质量。 专利权的授权
- 一种炉内快速降温系统 CN202010448730.3 - 本发明公开了一种炉内快速降温系统，包括加热炉体，所述加热炉体内设有炉管，还包括散热组件、连接管、风机组件和控制器，所述散热组件设置在所述炉管内，所述散热组件的进风口和出风口均穿过炉管的外壁并向外伸出，所述散热组件的进风口通过连接管与风机组件相连，所述控制器与风机组件相连，所述控制器用于控制风机组件启停及风量大小。本发明具有结构简单、降温效率高、降温效果好等优点。 实质审查
- 管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备 CN202010442285.X 2022-05-10 本发明公开了管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备，装置包括支撑架、传送导轨部分和动力部分，传送导轨部分包括承载载料舟的托盘、炉外托盘导轨、炉内托盘导轨和固定导轨，固定导轨的两端支撑在支撑架上，炉外托盘导轨可移动的设于固定导轨上，托盘可移动的设于炉外托盘导轨上，炉内托盘导轨设于炉体反应室内，动力系统包括托盘导轨推动驱动和托盘推动驱动，托盘导轨推动驱动用于驱动炉外托盘导轨移动以便与炉内托盘导轨对接，托盘推动驱动用于驱动托盘从炉外托盘导轨移动至炉内托盘导轨上。设备包括炉体和炉门系统，炉体内设有反应室，还包括上述的进出舟装置。本发明具有结构稳定、不会发生变形以及缩短取放舟时间的优点。 专利权的授权
- 一种管式PECVD预热系统实验装置 CN202010442305.3 2022-06-28 本发明公开了一种管式PECVD预热系统实验装置，包括预热箱、预热推舟机构、舟体转移机构和转移支撑架，预热箱设于炉体柜的一侧，预热推舟机构包括推舟导轨和推舟杆组，推舟导轨固定在净化台一侧，推舟导轨上设有推舟滑块，推舟杆组一端固定在推舟滑块上，另一端悬空并且朝向预热箱，推舟杆组上设有可在推舟杆组伸入预热箱之后关闭预热箱入口的预热箱门，转移支撑架固定在净化台上，舟体转移机构设于转移支撑架上，舟体转移机构包括舟体抓手、承重底座和升降组件，转移支撑架上设有转移导轨，升降组件设于承重底座上，升降组件与舟体抓手连接，承重底座可移动的设于转移导轨上。本发明具有可以快速验证石墨舟预热方案的可行性的优点。 专利权的授权
- 可抓取多个石墨舟的机械手及机械手的抓取方法 CN202010397810.0 2021-10-26 本发明公开了一种可抓取多个石墨舟的机械手及机械手的抓取方法，机械手包括多个安装主体，安装主体包括安装座、上固定座、下伸缩座，安装座可升降的设在净化台上，上固定座与安装座固定连接，下伸缩座可移动的设在上固定座的下端面，各安装主体中，头尾两端的安装主体上各设一个托盘组件，中间的每个安装主体上设置两个托盘组件，托盘组件可移动的设在下伸缩座上，相邻两个安装主体上的托盘组件构成一对。方法包括：石墨舟到位、机械手抓取舟、机械手将舟放在上下料桨上或先将舟放在缓存架上在放在上下料桨上、送舟入室、取舟出室、机械手取舟放缓存架上、机械手取舟放回初始位置。本发明的机械手一次可抓取多个石墨舟，提高了产能。 专利权的授权
- 一种退火炉的加热控制方法及退火炉 CN202010269172.4 2021-09-10 本发明公开了一种退火炉的加热控制方法及退火炉。方法主要包括原热源和辅助热源共同加热控制反应室设定温度T0高于工艺温度T1、放入预热后的舟体、反应室抽真空、反应室通入工艺气体、恒温工艺、工艺结束等步骤，通过对原热源、辅助热源控制，实现反应室迅速升温，辅助热源补偿自然散热、炉门打开散热和工艺气体进入的热量补偿，反应室恒温能力更强，有利于提升工艺效果；辅助热源含低功率和额定功率两档，根据反应室的温度自动调节，在保证反应室温度恒定的同时有效节约能源。装置包括炉体、石英管、原热源、辅助热源以及温控装置，增加辅助热源，加热炉丝的加热功率降低，减少炉丝的使用量，降低炉丝的吸热，提升升温速率，提高能量利用率。 专利权的授权
- 一种预热型管式PECVD设备及其控制方法 CN202010250820.1 2024-11-26 本发明公开了一种预热型管式PECVD设备及其控制方法，该设备包括上料滑台、净化台、炉体柜、气源柜、真空泵以及下料滑台，所述净化台用来完成基片及其载具从上料滑台、下料滑台到炉体柜内炉体反应室之间的输运，所述净化台包括依次相连的预热传送区、载具传输区及冷却区，所述预热传送区与一个以上的预热腔相连通，所述预热腔用于完成基片及其载具由室温到设定温度值的升温过程送入所述预热传送区，然后经载具传输区送入炉体柜进行恒温、镀膜工艺，最后经冷却区进行冷却作业后送至下料滑台。该控制方法基于上述设备来实施。本发明具有结构简单、布局合理、能够提高整机效率等优点。 授权
- 一种基于AGV小车自动传输的花篮缓存站 CN202010123659.1 2021-05-14 本发明公开了一种基于AGV小车自动传输的花篮缓存站，包括依次对接的等待位、工作位和缓存位，所述等待位设有用于传输托盘的等待位传输线，所述工作位设有用于传输托盘的工作位传输线，所述缓存位设有用于传输托盘的缓存位传输线，所述托盘用于装载花篮，所述工作位设有对托盘进行定位的托盘定位机构，所述等待位传输线上托盘的输入和缓存位传输线上托盘的输出由一AGV小车进行输送。本发明中花篮从AGV小车到机械手上下料的过程中无需等待，减少了花篮上下料的等待时间，提高了花篮上下料速度，提高了花篮的运输效率。 专利权的授权
- 一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备 CN201911421169.3 - 本发明公开了一种制备异质结电池薄膜的PECVD设备，包括载料板、叠层式载具及依次对接的第一预热腔、第一工艺腔组、第一卸载腔、翻片区、第二预热腔、第二工艺腔组和第二卸载腔，第一工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔，第二工艺腔组包括至少两个依次对接的工艺腔，各腔体内设有用于传输载料板的传输机构，叠层式载具设于载料板上，叠层式载具包括多层载具片，翻片区内设有出料工位和进料工位，出料工位和进料工位均设有传输机构，进料工位和出料工位之间设有将出料工位上的叠层式载具的载片取出并翻转180°之后再放在进料工位的叠层式载具上的取放片翻转装置。本发明具有设备整体占地面积小、成本低、维护难度小的优点。 专利申请的撤回